内容：

       Parylene 具有高度惰性与高纯度特点，且介电常数和介电损失都很低，由于涂层纯度高，水汽渗透率低，无离子污染 ，因此不受潮气的影响。由于 Parylene 的固化是自动生成的，并在沉积前就完成了，因此基体不会涉及到薄膜涂层的固化应力、溶剂溶解特性及沉积温度高低的限制等问题。

       方面的应用主要是涂敷Parylene以后，在产品表面形成的薄膜具有生物相容性和隔离润滑性等特性，这对导尿管、针头、骨骼假体、心脏起搏器、窥视光学镜头的生产具有重要而深刻的意义，足以引起国内行业的一场工艺革命。它对人体血液没有影响，且具有抗生物腐蚀能力，已经通过美国和食品管理局 ( FDA) 认可，可长期植入人体。

       目前市场上主要存在四大类植物照明灯：LED灯、荧光灯、高压钠灯、白炽灯及卤 灯。根据OFweek产业研究院预测，到2021年，LED植物生长灯的市场占比将 达到60％，预计未来LED光源渗透率将进一步提升，占据植物照明领域的主流。

        传统农业植物工厂生产中一般使用普通电光源补充光照和对白光源覆盖彩色塑料薄膜等农业技术措施改变光环境以调控设施栽培环境中植物的生长发育。但这些措施存在着不同程度的问题，如缺乏灯具缺少防水结构，由于应用植物工厂的环境相对密闭，导致环境湿度和水分、相当较高，如无防水结构，产品失效大幅上升。

        采用派瑞林（Parylene）封装的用于人工耳蜗植入的电极阵列，由于派瑞林涂层较低的杨氏模量，使得电极探针具有很好的硬度和韧性，同时可通过调整硅衬底的厚度来调整电极的柔软性，为制备的派瑞林（Parylene）涂层包裹的微电极阵列。派瑞林（Parylene）涂层所具有的透明性，使得在植入试验中能很好地监测探针植入深度，同时，电极被派瑞林（Parylene）涂层包裹，即使电极破碎，外层派瑞林（Parylene）涂层也将碎片连在一起，从而减小手术伤害和植入伤害。整个装置集成了位置传感器和派瑞林涂层包裹的传输线，实验表明，该装置能够提高人工耳蜗声音识别能力和位置的准确性。在制作多通道听觉假体时，变长度的神经刺激电极阵列也采用派瑞林涂层作为刺激电极的包裹材料，从而提高植入器件的生物相容性。

       考夫曼离子源是应用较早的离子源。属于栅格式离子源。首先由阴极在离子源内腔产生等离子体，让后由两层或三层阳极栅格将离子从等离子腔体中抽取出来。这种离子源产生的离子方向性强，离子能量带宽集中，可广泛应用于真空镀膜中。缺点是阴极（往往是钨丝）在反应气体中很快就烧掉了，另外就是离子流量有极限，对需要大离子流量的用户可能不适和。

       霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化。这个轴向磁场的强不平衡性将气体离子分离并形成离子束。由于轴向磁场的作用太强，霍尔离子源离子束需要补充电子以中和离子流。常见的中和源就是钨丝（阴极）。