气体质量流量控制器的原理是什么？

质量流量控制器由流量传感器、分流器、通道、电磁调节阀和电路板等部分组成。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大, 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较, 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与质量流量控制器配套的流量积算仪上设置有稳压电源, 设定电位器, 和三位阀控开关等。

使用气体质量流量控制器注意事项

1.怕粉尘, 若粉尘进到气体质量流量控制器内部会阻塞传感器和分流器, 导致数据误差, 所以建议在MFC进气口前加装过滤装置; 

2.怕液体和油渍进到MFC, 一旦有液体进入到MFC内部会导致无法控制,所以建议在MFC进气口前端还要加装干燥装置， 假如MFC的出口接有液体罐, 也要在MFC出口再加上单向阀, 避免液体流回; 

3.怕应用湿冷的腐蚀性气体, 潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈, 导致MFC通道毁坏, 因而在应用腐蚀性气体前, 要对气体和MFC管路系统开展烘干解决;，并且在通腐蚀性气体前要检查管路的气密性，还要使用惰性气体对管路进行吹扫，然后再通腐蚀性气体，等MFC工作结束后还要使用惰性气体再次吹扫一遍管路，保证管路中不会残存腐蚀性气体。

4.怕在应用强腐蚀性、有毒有害及yiranyibao气体时不按安全性标准实际操作, 这样有可能导致人身及商品毁坏和其他明显的损害。 

5.使用MFC前还需要将MFC进行通电预热，保证MFC在不通气时，瞬时流量处于0的位置，如果不通气时，瞬时流量显示有一定的数值，表示传感器出现“零漂”现象，可以先对MFC进行调零处理，否则将影响MFC的精度。

气体质量流量控制器的主要优点是什么？

(1) 流量的测量和操纵不因温度或负载的变化而产生误差。 针对大部分流量控制系统来讲，难以防止系统的工作压力起伏及自然环境和物质的温度转变。针对一般的流量计，工作压力及温度的起伏将造成很大的偏差；针对质量流量计 / 质量流量控制器，则一般可以忽略。 

(2) 测量操纵的自动化技术 质量流量计 / 质量流量控制器可以将流量测量值以规范电子信号輸出。那样非常容易实现对流量的数据显示﹑积累流量﹑数据信息自动保存﹑电脑管理等。对质量流量控制器来讲，还能够完成流量的自动控制系统。通常, 模拟的MFC/MFM数据信号为0~ 5V或4~20mA, 数字式MFC/MFM还装有RS232或RS485数据串行通信通信口, 能十分便捷地与电脑联接, 开展自动控制系统。

 (3) 定量操纵流量 质量流量控制器可以控制汽体的给定量，这对许多加工工艺全过程的流量操纵﹑针对不一样汽体的控制算法等尤其有效。

 (4) 应用领域宽 有很宽的压力范畴，可以适用真空环境和高压环境; 可以适用多种气体（包含一些腐蚀汽体，如HCL）