近年来，随着科技的不断发展，越来越多的技术被应用到各个领域中。其中，等离子放电原理技术在表面微观整平领域发挥着重要作用。利用这一技术，可以让放电通道更多地是在微观凸起的位置形成，从而优先去除该位置的材料，从而达到表面微观整平的效果。抛光开始阶段，粗糙度下降速度较快，但随着抛光时间的延长，该趋势逐渐减弱。通过分析离子放电原理，探究其对微观凸起位置材料的优先去除效果。研究表明，在抛光开始阶段，由于样件表面存在明显凹凸不平的状态，离子在凸起处更加集中，放电通道更多地选择在凸起的位置形成，从而使粗糙度下降速度较快。但随着抛光时间的延长，样件凹凸不平的状态得到改善，放电通道更多在微观凸起位置形成的趋势减弱，从而使粗糙度下降的速度减小。
传统的机械抛光方式不仅效率低下，而且抛光效果难以达到高精度的要求，因此在制造领域广泛应用的等离子抛光技术就显得尤为重要。等离子抛光技术是一种基于离子放电原理的表面处理技术，它可以有效地提高生产效率和产品品质。该技术可用于抛光各种金属材质，如不锈钢、铜、铝、锌合金、钛合金、金银等。具有操作简单、率、高精度等优点。与传统机械抛光方式相比，等离子抛光技术有着非常显著的优势。首先，等离子抛光技术具有率的特点。一台设备可以在极短的时间内完成大量产品的抛光处理。同时，等离子抛光技术的抛光效果也非常显著，可以实现高精度的抛光，并且可以根据不同的要求进行调整。
抛光液的温度越低，材料的去除速度越快。低温条件下材料的去除速度快主要是因为: 温度越低，抛光液被蒸发需要吸收的热量就越多，相同条件下生成的气体越少，包围在零件周围的混合气体层越薄，而在压强和电压不变的情况下，气体变薄就意味着电场强度增大，导致碰撞电离系数显著增大，虽然总的碰撞距离减小，但仍然有更多的电子冲击到工件表面，材料的去除速度当然更快。但在抛光液低温情况下，混合气体层较薄，也意味着气体层不太稳定，等离子抛光过程中断并转变一般电解的的可能性越大，同时气体层薄也意味着系统的电阻减小，电流增大，且电流值大幅度变化，常常引起零件尖锐部位烧蚀等现象，这对复杂形状零件和大尺寸零件来说特别明显。随着抛光液温度的提高，等离子纳米抛光过程开始稳定，90-100属于理想加工温度范围，在这一范围内材料的去除速度虽然不是快，却更容易获得更好的表面质量。温度继续升高将导致抛光液气化增强，混合气层温度升高厚度增加，加工时间也相应延长。当抛光液温度达到95-99°C时，等离子加工过程转到泡沫状态。抛光液沸腾，蒸气气层失去自身的尺寸和形状整个零件处于连续移动的泡沫中，其电阻与等离子理想加工状态的气层电阻值相比大大提高，此时被加工表面电流也会减小。
