什么是流量控制器

质量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有质量流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，MFC自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。质量流量控制器（Mass Flow Controller缩写为MFC）用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。通常气体质量流量控制器接触工作气体的湿材料为316L不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等,密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。

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流量控制器如何测混合气体的流量？

质量流量计是采用感热式测量百，通过分体分子带走热量多少从而来测量流量，因为是用感度热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。

即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速问和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。

此方法，日系发动机常用。

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流量控制器

注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同，注意选择适合自己的产品。

质量流量控制器（MFC）除工作压力之外，还有另一项工作压力指标：工作压差，即MFC进气端和出气端之间的压差，选型时要注意，使用时也要注意。

 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标，其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高，应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心，有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。

流量控制器

数字化质量流量控制器内置MCU多功能微处理器, 可以对采集到的流量信号进行数字化处理, 进行温度线性校正, 具有比模拟式产品更高的精度和线性性能。数字化的PID控制功能, 能提高稳定性和智能化地改变响应特性。怕使用潮湿的腐蚀性气体,潮湿的腐蚀性气体会使不锈钢生锈,造成MFC通道损坏,因此要求在使用腐蚀性气体前,要对气体和MFC管路系统进行干燥处理。串行通讯, 使MFC更便于进行计算机系统控制。数字化智能化的MFC逐步替代全模拟的MFC, 这是技术发展的必然潮流。