流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa, 若压差低于值(0.1 MPa), 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能关闭时流量不能小于2%F.S。用户使用MFC时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热答元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流专量。

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流量控制器容易受这几个方面的影响

质量流量控制器是一种测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，不需要温度压力补偿，可根据需要进行流量设定，自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。可以地控制气体的给定量，这对很多工艺过程的流量控制，是用于对于不同气体的比例控制。直接测量气体的质量流量，输出质量流量信号，不用其他设备。［这时您可能会问：ALICAT还有液体流量计、液体流量控制器吗。可以的测量微小流量，采用分流装置，又可以测量大流量，而且温度，压力范围很大。

一、压力状况

在加气机中使用的质量流量控制器测量的气体的压力不低于20MPa，压力远远大于大气压。高压改变了振动管的内应力，提高了弹性管的等效刚度，从而使振动管的振动频率增大，两管的相位差减小；质量流量计工作原理质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。气体流经振动管时，存在压降，使得振动管受力不对称，这也对相位差有影响。

二、温度影响

用于加气机的CMF工作温度远低于室温，温度影响必须考虑；介质温度或环境温度变化会改变测量振动管的杨氏模量和影响零漂的结构等各种因素。

三、流速问题

压缩气体密度低，流速快，其影响不能忽略。理想情况下，流速增大则振动管的振动频率减小。通常流体密度变化小，可以认为流速与流体质量流量正比，因此流速的补偿可以转化为流量变化的非线性因素进行补偿。

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流量控制器

怎样进行不同气体的质量流量换算？

产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的质量流量转换系数。

如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的质量流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量；流量控制器概述简介质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。反之，在确定所购产品的量程时，以实际使用气体的期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。

空气、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等气体，其转换系数约为1.0 , 一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算。