净化工程无尘室无尘车间水电施工技术要点：

1、施工前的施工图

施工前一定要有电气(强电、弱电)、给排水设计施工图。

2、严禁导线外露

严禁将导线无任何保护地直接敷设在墙内、地坪内、地板下或天棚上。

3、布线线管要区分

不同电压，不同回路，不同信号的线路严禁穿在同一穿线管内。

4、灯具的安装应在油漆完成后进行

在砖混结构上安装灯具，严禁使用木楔，应用吊钩、螺栓或膨胀螺栓等。固定灯具的螺栓(或螺钉)不应少于2个。灯具不得安装在可燃构件上。

5、灯和电气设备的开关安装

灯和电气设备的开关务必安装在“相线”上(即控制相线)，否则开关掉后，灯关及电气设备上仍带电，南通GMP包装车间，易引起触电事件。

6、用电系统有两种保护方式

接地保护和接零保护，我国目前一般采取的是接地保护方式。注意，同一系统中，严禁同时采取两种保护方式，否则会造成安全事故。

7、禁止使用移动开关

如果灯具是使用螺口灯头，包装车间，则螺口灯头的中心簧舌应接控制相线。

8、接口处的保护

各线路接口处应光滑、连板连接应牢固。电源进线盒接口盒部位应加保护圈(锁紧螺母)保护。

9、穿线管弯头弧度

为了将来导线的更新和维护，埋在墙、地下或天棚的穿线管，其转弯处弯头的弧度(即冷弯半径)应是穿线管直径的5~10倍。

10、禁止在穿线管内连接导线

禁止在穿线管内连接导线，即若导线长度不够需接长时，导线的接头处不能在穿线管内，一般应在开关、插座、灯头盒等接线盒内接线。

11、穿线管的选择

穿线管应选择一定的大小(粗细)，不但要能使导线穿得进，而且要留有足够的空隙，使导线在通过大电流时产生的热量能散发掉。一般导线的截面积与穿线管截面积之比为1/3~1/2。严禁导线把穿线管堵实。

12、给水管可采用PP-R管、铜管。

13、给水管检查

暗敷给水管道必须严格检查所有连接部位是否安装紧密、牢固，走向正确，再做水压试验，试水一段时间后方可隐埋。试压指数一般为0.8mpa-1.0mpa之间适宜。

14、排水管安装注意点

排水管横向管道应有一定的坡度，承插口连接严密，确保无渗漏。固定管道的支架、吊卡间距合理、牢固。

15、卫生器具的安装位置

卫生器具的安装位置应准确，支、托架安装平整、牢固。地漏应安装在地面的***di点，且凹入地面5mm。坐便器与地面或管口的连接密封用油泥或硅胶，不宜使用水泥，水泥会膨胀造成坐便器底部裂缝损坏。

16、冷热水***的方位

冷、热水***中的热水***应安装在左侧。电热水器应有接地保护装置，初用时应排除胆内空气，注满水后方可通电启动。

4.2AMC控制的实施情况

对线宽0.25μm的IC生产，一般已常在新风处理中设活性炭过滤器；有关关键工序以及工序间园片的传送及存放，有的生产厂采取了AMC控制，有的生产厂则并未进行控制，主要在于经济效果的衡量上，有关具体控制要求及措施报道甚少见，可能是由于保密的原因，但一点可以肯定，只能在局部环境内进行控制。

为满足φ300mm园片，＜0.15mm线宽的加工要求，近年来对AMC控制，重点在以下三方面开展工作：

（1）精que的测量技术及标准测试方法的建立。因为这是掌握AMC控制的基础，必须***；

（2）按今后IC的生产要求，生产线的设备采用微环境隔离，各设备间园片的传送采用前开式标准片盒（FOUPs）系统，对园片进行隔离。因此，早已对设备、FOUPs系统及微环境所用的材料要求不释放及吸附有关悬浮分子污染物的问题以及对此污染物的去除措施进行研发，并不断改进中；

（3）控制AMC的过滤器。

近年来尤其是近2～3年来，对控制AMC过滤器的开发及推出有少进展；

A.不释放AMC物质的HEPA/ULPA；

a.低硼超细玻璃纤维过滤器，现已在亚洲及欧洲的IC厂使用较多；

b.多孔聚四氟乙稀（ePTFE）过滤器，为薄膜结构，价格比a要高出十倍左右。目前使用尚不多，正在开发下一代的。

B.化学过滤器

洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

（1）室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大；

（2）室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流；而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层；

（3）自净时间（恢复时间）的控制要求：洁净室中事故释放或带入污染物或空气气流的中断或正常操作时的间歇性对流气流或人及设备的移动等都会造成洁净度的恶化，恢复到原来洁净度的自净时间决定于气流速度；对自净时间的控制要求取决于此时间框架内（恶化的洁净度下），扬州GMP包装车间，对产品生产的质量及成品率影响的承受能力；

（4）末级过滤器的效率：在一定的室内发尘量下，可采用较高1效率的过滤器以降低气流速度；为节能应考虑采用较高1效率的过滤器，并降低气流速度，或采用较低效率的过滤器并采用较高的气流速度，以求流量与阻力的乘积***xiao；

（5）经济性考虑：过大的气流速度造成投资及运行费用的增加，合适的气流速度为以上诸因素合理的综合，过大往往不必要，亦不一定有效果；

（6）对洁净度要求低的洁净室，有时换气次数决定于室内排热的要求。

以上因素，皆很难量化，只能分析对比并估计。因此在工程应用中，对洁净室的气流速度往往参照有关规范、导则等的推荐或参考值，再按具体情况估计以上各影响因素进行综合考虑后确定。

气流速度用于单向流洁净室；非单向流洁净室宜用换气次数，泰州GMP包装车间，因为其气流速度难于测准；亦有用末级过滤满布率来反映的，可用于各种气流流型的洁净室，一般满布率100%相对于流速0.5m/s（100fpm），25%相对于0.125m/s（25fpm）。当前有关规范、导则等的推荐或参考值见表1。

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