净化工程无尘室无尘车间酚醛复合风管：

酚醛复合风管中间层为酚醛泡沫，内外层为压花铝箔复合而成。

酚醛树脂是世界上1***早工业化的塑料产品，而酚醛泡沫塑料则是***近几十年来刚刚开发成功的品种。酚醛泡沫塑料被称为“保温***”，早期应用于导dan及火箭头的 保温，它在美国、英国、日本等一些发达国家已成为塑料中发展***快的品种。酚醛泡沫材料具有阻燃性能好，导热系数小，吸声性能优良，使用年限长。由于酚醛泡 沫材料具有以上***特性，因此在国民经济各个方面得到了广泛的应用，如中央空调风管、冷热输送管道、洁净厂房、商场、轻体快装房、冷库、冷藏车、飞机、船 舶、宾馆及娱乐包厢等等需要使用防火、质轻、保温、隔音、洁净、防潮材料的地方。

酚醛泡沫板与铝箔复合制成夹芯板，然后加上***法兰配件，制成的酚醛复合风管用于中央空调通风。酚醛复合夹芯板其内外表面是涂层铝箔，中间层为酚醛泡沫材 料，其综合性能有较大的改观，特别是在力学性能方面，如抗弯曲性、抗压、脆性及加工性能等方面都有较大的改进，基本上满足了空调通风管的使用要求。

环舒牌酚醛铝箔复合风管其夹芯板是国际上近年来流行的一种新型酚醛铝箔复合夹芯板制作的风管，重量轻，洁净室，制作简捷，洁净环保，保温隔音。达到消防***的防火标准。美观耐用，无du无害，使用安全。

产品参数:

　1、防火等级（GB8624—1997）：阻燃***

　2、容重500-600kg/立方米

　3、吸水率小于0.5%

　4、导热系数：在室温24 ，产品导热系数小于0.022V/M?K

　5、耐热性能-50~1506、压缩强度10%：0.29Mpa

4.1AMC的分类及控制要求情况

AMC作为IC工厂所关心的问题于20年前***xian由日本人提出，近年来，IC生产园片直径已达φ300mm，工艺加工尺寸（线宽）已小于0.15μm，在某些加工工序及工序间园片的传送和存放环境中AMC已成为严重影响成品率的问题，已被清楚的认识到，因此，AMC的控制已由谈论转到需要实施。

对于IC生产，AMC分为A、B、C、D四类，即：

A——酸性物质，如Hcl等；

B——碱性物质，如NH3等；

C——沸点高于室温能在光洁表面冷凝的物质，主要是碳氢化合物，某些工艺加工环境中的水蒸汽亦需要考虑；

D——掺杂物质，能为园片表面吸附或与表面相互反应的物质，如***、硼、磷等。

AMC对当前的IC生产其潜在的污染比粒子污染要广泛多，粒子污染控制只要确定粒径及个数，但对AMC控制而言，无菌洁净室，除了受芯片线宽的缩小而变化外，并受工艺、工艺设备、工艺材料及园片传送系统等的影响，更有甚者用于某一工序的各种工艺材料（化学品、特种气体等）在很多情况下其微量的分子对下一工序往往可能是污染物，而园片加工工序当前已多于300多个独立工序，对AMC控制指标的确定更是复杂。因此，IC生产对AMC的控制，对不同的产品、不同的工艺、不同的工序及不同的工艺材料会有不同的要求，对各种污染物质的要求当前总的说法是控制在亚pptm～1000pptm间。

表1中有关气流速度和换气次数的推荐或参考值，应该说是经验的反映。如ISO/DIS 14664-4提出的数值皆明确适用于那类洁净室的；IEST的推荐值亦是被一些***机构认为仅适用于半导体工厂。由于具体情况变化较大，有的经验值可能已不适合当前的室内尘源控制措施及过滤器效率提高的情况。

2.2对有关推荐或参考值的讨论

近年来不少人通过实验认为这些推荐或参考值过于保守，其论点可归纳为：

（1）洁净室内气流的横向扩散只在甚低的流速下才有可能，单向流在合理的气流组织下，流速0.05～0.1m/s就足够带走污染物，在此流速下亚微米粒子的扩散性能远低于对流性能；而大于0.36m/s的气流速度反而易千百万涡流，引起污染物的再卷入。因此，洁净室的理想自净时间Tr=体积/流率，到一定值后由于污染物的再卷入，再增大气流速度，实际的Tr并不再有明显的减少。

（2）末级过滤器的效率对洁净度的影响是值得起注意的。有的气流速度/换气次数推荐或参考值对末级过滤器效率提高的因素往往没作考虑。当前HEPA/ULPA的效率从99.67%、99.99%、99.999%、99.9995%直至8个9以上都可选择。其效率对气流速度的影响除以上已提及外，以下方面亦值得引起注意，在非单向流情况下，按衡释原理的洁净室内含尘浓度稳定公式可以得出：

（a）室内发尘量较高时，末级过滤器(参考)效率的变化对洁净度影响甚微，因此在这种情况下，洁净室工程，过高的过滤效率是无必要的。

（b）室内发生尘量较低的情况下，采用低的气流速度下，末级过滤器效率的变速器变化，对洁净度的影响增大。

以上情况可以引用的图1a～1c看出。

此主题相关图片如下：

作图有关数据：

新风进末过滤器前的含尘浓度1.75×106个/m3

室内发生量:G1=350个/m3.min

G2=3500个/m3.min

G3=35000个/m3.min

G4=350000个/m3.min

新风量对于全空气量的比率 0.03

当前有的IC工厂其ISO5级（0.3μm）的洁净室，洁净室报价，采用FFU系统，带ULPA（99.9995%，0.12μm），出口风速为0.38m/s，其满布率为25%，这样室内平均气流速度为0.095m/s，在各有关推荐或参考值的下限下。此洁净室的工艺加工在微环境内洁净室内的人员亦较少，可以认为洁净室内发生较低，这种情况下采用低的气流速度可能是可取的。

据报道，目前IEST对洁净室内气流速度推荐值的下限有所降低，如：

≤ISO5级：气流速度0.2～0.5m/s；

ISO6级或5级（非单向流）；换气次数＞200次/h；

ISO7级：换气次数20～200次/h;

ISO8级：换气次数2～20次/h;

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