真空箱式氦检漏系统[机械系统部分]

机械系统主要由以下四个单元构成：真空箱单元、充氦气回收单元、检漏单元、清氦单元。

1.1真空箱单元

真空箱单元由真空箱、真空泵组、真空测量装置、真空阀、执行装置及不锈钢管道等组成。

真空箱：采用不锈钢材质制造，其内表面在加工后经抛光和清洗处理，保证了良好的本底和***的藏气，提高了真空箱的抽空效率。真空箱内设两个工件接头。真空箱采用快速接头与工件的接口间柔性软管连接，方便快捷，大大提高了操作效率。

真空箱开门机构：采用自动侧开门方式。

真空泵组：真空泵组是系统检漏需具备的必要条件，是真空获得的重要工具。本系统真空机组前级泵采用单级旋片式泵组，主抽罗茨泵采用罗茨泵，性能***，在高真空下抽速更快，检漏系统配制采用机械泵为前级泵。

真空测量装置：采用进口真空计，使测量更加准确。

管道阀门：真空管道均采用不锈钢材料制成，为获得较好的真空提供了必要的物质基础。执行机构：真空箱开关门采用直线导轨滑动系统，电池氦检设备，手动送工件和自动或（手动）开关门可靠、安全。

1.2 充氦气回收单元

充氦气回收部分主要包括储气(高压)罐、回收(低压)罐、压缩机、真空泵、电磁阀、真空阀、压力传感器、真空计和管道等组成。能在设定的时间内对工件进行抽空、充氦气和氦气回收等处理。

充氦气回收部分主的组成结构中，高、低压罐由具有***资质的压力容器生产商制造，并配备安全阀、压力传感器，适时检测高低压罐压力，***。系统具有氦气压力监测及氦气补充功能，真空氦检设备的工作原理，当系统检测到高压氦气罐内的氦气浓度或压力低于设定值时，则自动打开阀门从低压罐补充高纯氦气。

压缩机采用***，质量***。

氦浓度仪采用***，能根据需要检测高压罐内氦气浓度。真空计，真空阀门等关键部件均采用***配置，详见配置清单。

1.3 检漏单元

真空箱式氦检漏系统机械系统部分的氦检漏单元，氦质谱检漏仪采用进口产品，自动校准漏孔。技术成熟，性能稳定，安装维护方便，使其和真空箱连接更加协调紧密。

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真空箱式氦检漏系统[系统构成]

本系统构成如下图所示，主要分为机械与电控两大部分。其中，机械系统主要由以下四个单元构成：充氦气回收单元、真空系统单元、检漏单元和清氦单元；真空箱式氦检测系统电控系统，氦检设备，包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。后续将详述各个部分构成，欢迎有需求的客户跟踪关注，欲详细了解，请拨打图片上热线电话。

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如图：真空箱式氦检测设备系统构成图

真空箱式氦检漏系统

本设备严格按照用户技术要求设计制造。

本设备适用对空腔电力工件进行氦质谱检漏、SF6及氮气充注，轮毂气密性氦检设备，首先对工件进行真空内外压强抽空，真空法判大漏。大漏合格后，对工件和真空箱抽真空，被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性微检漏检测；然后将被检工件内的氦气回收循环使用、充注SF6及氮气工作气体。同步对工件和真空箱抽真空，使工件内外压差不大于0.04Mpa，对被检工件充注氦气，应用真空箱法进行氦质谱气密性检测，通过该装置判断出被检工件中的合格与不合格。

系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。电气系统同时具有自我效准、连锁保护和报警功能，以及急停按钮，确保系统本身运行可靠安全和被检工件的安全。为了保证工件的安全，系统中采用压力和真空传感器同时使用的方式，以防止传感器失效而对系统造成的伤害。

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