概况-集成电路的工艺废气主要分为6大类：
(1)酸性废气：来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片进行腐蚀、清洗的过程以及扩散等工序，主要污染物为氟化物、HCl、氮氧化物、硫酸雾等。
(2)碱性废气：来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序，主要污染物为NH。
(3)有机废气：来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用化学溶剂清洗的过程，主要成份为IPA、光刻胶等有机物。
(4)含尘废气：来源于CVD工艺排气，主要污染物为粉尘(SiO2)。
(5)工艺尾气：来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如磷烷、B2H6等，除部分在工艺中反应消耗外，其余均以尾气的形式排放。
(6)热无处理废气：来源于扩散等工序中的热气排放，直接排人大气。
废气处理工程方案设计需要进行哪些工作？
一般的新工艺技术或者是旧工艺技术生产产生的废气未能有效处理，对周围环境造成较大影响，进而会引起当地***的高度重视。不进行废气处理工程，不仅是对企业信誉和未来造成一个坏的印象，还是对我们居住环境的不负责任。
废气处理工程在选择何种设备和处理方案时需要考虑哪些因素？需要客户的哪些数据？在制定废气处理工程方案时，我们常用的手段就是实地考察，主要是对废气污染源主要污染物、有害气体浓度以及组分复杂、难以常规处理等特点、废气排放量、周围环境等数据都是要认真的记录和分析。
主要的规程是，公司为保护生产工作人员的健康以及周围环境质量，废气处理，大程度地减少对周围环境的影响，委托废气处理工程公司进行处。公司在接到此项目后，组织相关***进行了严密的现场勘查，对其废气特性以及处理方法进行技术攻关。经过实验室***技术人员大量的实验室模拟废气产生实验以及分析处理、对比实验，查阅了大量相关资料，结合多年从事废气处理的***经验，针对厂区生产过程中产生的复杂综合性废气的处理编制出本方案。
广东绿意环保科技有限公司是一家以环境污染治理及修复为***，集“咨询-设计-施工-运营管理”于一体的综合性环保技术企业，公司拥有技术团队，主营业务包括：环境影响评价、突发环境事件应急预案、清洁生产、环保工程竣工验收、场地环境调查与评价等环保咨询工作，废水治理（工业废水、生活污水）、废气治理（粉尘、有机废气、锅炉废气等）、噪声治理、场地修复（土壤、生态）及相关联非标设备的生产制造等环保工程工作。
通过研究发现VOCs对环境和人体都有极大的伤害，久而久之对我们的整个生存环境会造成恶劣的影响。因此VOCs治理引起了相关***的重视并投入了大量的精力进行研究，现如今已经研究出几种常用VOCs治理的方法，光催化处理废气，具体来说，***废气处理公司，其类型和特点包括以下几方面。
一、吸附法
VOCs治理介绍这种方法是要利用某些媒介的吸附能力来去掉有害的东西，相关的材料有很多可供选择且效果比较显着。VOCs治理发现这种方法去除***，不用消耗了很多的能量，而且在工艺上还是比较成熟的，相关的容积还能够重新回收利用能够节省成本，不过所需的设备比较大，过程有些复杂。目前工程上使用较多的吸附材料主要是分子筛和活性炭。
二、溶剂吸收法
国内***的VOCs治理介绍以液体溶剂作为吸收剂，使废气中的相关成分吸收剂从而达到净化的目的。VOCs治理发现该法还能够变废为宝重新回收利用一些有用的物体并且效率很高，比较适合处理常温下浓度又不高以及大风量的有机废气，减费用不高、成本低又能将污染物转化成其他物质再次被利用，能够一举两得。
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