超净间(Clean Room)，亦称为无尘室或无尘车间。「超净间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细1菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。 超净间***之作用在于控制产品(如硅芯片等)所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为无尘车间「超净间」。

      设计根据实验场所提供的场地空间，设计无尘车间实验区，以建筑面积为23㎡为例。应设有一个P2主实验室，一个一更缓冲间，一个二更缓冲间，一个洗刷消毒间。

      设计充分利用现有的空间，根据国家相关规范和试验场所的特殊要求进行平面布置。考虑生物安全实验室应同事实施一级屏障和二级屏障的要求，其中一级屏障主要体现在微生物实验区的平面布置和维护结构方面，二级屏障主要体现在空调净化系统方面。在平面布置方面把人1流和物流分隔开，放置任何物的交叉***：实验操作人员通过一更缓冲间和二更缓冲间进入P2主实验室；实验物体通过两个互锁式传递窗进出P2主实验室，其中一个互锁式传递窗设在主实验室和准备间之间，另外一个设在主实验室和洗刷消毒室之间，保证了洁净物不受***，同事保证了污染物尽快传进洗刷消毒室进行消毒灭菌。

    

      对无尘车间 而言，其选择地板的材料也是很重要的。低廉的无尘车间 地板覆盖着一层乙烯基在薄板上，若太硬的地板覆盖会引起尘埃，而太软的地板会造成地板弯曲甚致***，但并不是所有无尘车间的地板，都会覆盖，乙烯基。有些地板是冲孔式、格子式，而全1面层流都是冲孔式。

      乙烯基有一作用即脱氧，但高浓度乙烯基与其它物若混合的话将会有减低脱氧的效果，而无尘车间的墙若以铝作为材料则将会非常昂贵，但铝却可以保护墙面不被空气所氧化，可是却易受酸性气体的侵蚀，百级无尘室，而避免的方法是使用电镀，便铝表面增厚，不易氧化，再在铝表面上再涂上一层亮光漆即可防止金属氧化。

      对于半导体工业而言，无尘车间是一必要且不可缺之设备，其对空气中的粒子要求非常之严格，故对天花板、墙壁、地板的要求亦非常严格。地板是人员、台车及重量的运输，而清除地板所用者大部分为消毒1的药品及化学药品，当我们看见地板磨损时，无尘室工程，也就是使用期已太久，快***了，不仅会使得清静度的降级，也会因地板的磨损而发生空气中粒子的增加。

      另外，无尘车间***怕的就是粒子泄漏。天花板中的滤网有很多种。例如层流式无尘车间 而花板的组成组件包含了HEPA/ULPA 滤网组灯光组亦有可能包含空白的嵌板，万级无尘室，这类型的天花板优点为，放置方式并没有严格的限制。

      无尘车间 之墙壁还有一种是以薄钢制成，但必须在表层涂上一层保护层，否则亦会腐蚀，它并不容易电镀，而在表层涂上的保护层会变得易碎，很容易剥落，扬州无尘室，但若选择高质量的不锈钢，就不必涂上保护层7，而使用玻璃作的 无尘车间 会使得房间的光线大增，以及美观，但必须涂上一抗紫外线的障碍物，且可以视觉互通，较不会产生幽闭恐惧症。

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