充气柜检漏设备系统工作原理详解

抽真空检大漏

检漏时先将工件放在工件转运平台上，人工将工件推入真空箱，然后将工件与系统连接，按下双启动按钮，箱门自动关闭，剩下的工作系统自动完成。

箱门关好后，系统打开V3 和V4，真空箱式氦检漏系统哪家优惠，关闭V1，V5，V6， V7，对真空箱和工件抽真空，并同时监测工件内真空值和真空箱的真空值，并保证工件内压力比真空箱压力不超过0.04Mpa。当真空箱内压力为20Pa，工件内压力抽到1000Pa时保压150S，测量开关柜和真空箱内真空值的变化，如果真空箱内真空度变化不超过设定值（如100 Pa）说明工件无大漏，否则说明工件有大漏，系统自动给出声光报警，人工按下确认按钮，系统结束检测，如果工件无大漏，继续抽真空检中、微漏

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充气开关柜检漏设备  

北京科仪创新真空技术有限公司（简称：科仪创新）出资成立，创建于2015年，注册资金500万。是国内新兴的一家***从事真空领域的高新技术企业。公司始终坚持以人为本，追求***，造就了团结，合作，创新的学习型团队，真空箱式氦检漏系统报价，构建了高起点、高标准的技术平台，成为集真空设备研发、生产、销售、服务为一体的现代化科技型企业。科仪***主要有：薄膜制备设备，真空冶金设备，检漏设备，真空系统等非标真空产品；系列分子泵，离子泵，钛升华泵，深冷捕集泵等高真空获得设备；系列干式涡旋泵，干式爪泵，干式螺杆泵等无油真空获得设备；超高真空环境模拟设备等高新技术产品。科仪创新-以创新为理念。使产品与技术达到国内***水平，形成了具有自主知识产权的较完整的真空产品产业链。产品和技术广泛应用于新能源、新材料、电子、电力、航空航天、半导体、超导、离子、IC装备、科研、节能环保等领域。科仪创新-以技术为保障。公司汇聚了国内真空行业的***、***技术人员和***的管理团队，他们熟悉真空、机械、高温、低温、镀膜、材料、检漏和自动化控制等***，也深知现代高新技术企业的内涵，为客户提供完善的技术保障。

由于工件内外压差不能大于0.04Mpa，抽空过程中系统可通过电气控制部分控制工件内外基本等压，如果压力差超过设定值，则抽速较快的泵自动停止，等压力差达到规定要求时，平谷真空箱式氦检漏系统，泵自动运行，直至真空箱和工件内的真空度均达到规定值。系统自动记录、存储抽真空、充氦、氦检过程中的工件和真空箱的压力变化情况。系统同时具有自我诊断与报警功能，显示各种故障信息。

真空箱检漏工艺流程如下：①工件密封盖板安装（需方人员自行完成）→②吊运至设备小车（同上）→③工件与设备连接（同上）→④按下控制按钮（同上）→⑤设备关门自动运行（真空箱、工件抽空）→b.工件真空压强法判大漏→c.抽空工件充氦气检微漏→d.回收工件内氦气→e.真空箱、工件充气）→⑥检漏完成真空箱开门→⑦吊走工件拆卸盖板

注：①-④-⑦由需方人员自行完成。

【真空箱氦检漏设备】技术参数

1、 真空箱尺寸：长2500mm×1500mm×1000 mm（有效长度）

充氦气压力：0.05Mpa（可调）

2、 工作节拍：＜40分钟/件

3、 箱内接口数量：大件1个工件接口。小件2个工作接口。

4、 氦气回收率：95%-98%

5、 可检漏率：≤2.8×10-6Pa m3/S

(报警漏率设置1×10-7Pam3/S时，应可检出)

6、 保压检测时间：（1-600S可调）

7、 工件真空≤1000Pa

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真空箱式氦检漏系统【电气控制系统】

真空箱式氦检漏系统由机械系统和电气控制系统两大部分构成，其中电控系统包括操作机构、控制机构、驱动机构、执行机构、采集机构、及电源六大部分。

2.5、检测机构

检测机构由真空计、检漏仪、压力传感器、氦浓度仪组成。真空计用于测量工件压力、真空箱压力；检漏仪用于测量工件漏率；压力传感器用于测量高压罐压力、低压罐压力、氦气源压力；氦浓度仪用于测量高压罐内氦气的浓度。

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