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AU-80表面有机物颗粒检测机
AU-80表面有机物颗粒检测机
相对于一般无尘室内广泛被使用之手持particlecounter 或是落尘监控设备只能检查出环境落尘品质而不能检测出particle落尘何处的缺点,透过ASYS AU-80表面有机物颗粒检测机之照射而产生的反差效果,能很轻易的发觉生产设备上的particle的落点处透过无尘布等的擦拭
*应用产业:
A.光电产业( TFT-LCD / LTPS / AMOLED / TP / Polarizer / Photomask)
B.半导体产业(Silicone/ SiC/ GaAs/ GaN)(FAB/ 封测厂/ 真空设备/ Parts clean)
C.制药产业
D.食品厂
E.汽车涂装产业
*应用部门:
A.光电: Array段 / Cell段 / Assembly段 / QA监控(IQC / OQC)/ 厂务
B.半导体: PVD / CVD / 黄光 / 蚀刻 / 厂务