超高精密气浮平台具备超高精度，分辨率达到10nm,重复精度达到50nm；超稳定性，花岗石机台，气浮导轨，直线电机直驱，匀速段速度波动低于0.05%，静音平稳运行，可以长期保持平稳运行；高动态响应，高加速度，反应灵敏。适用于科研，实验室，激光成像，激光切割，半导体制造，平板显示器制造，精密测量等需要高精度定位的场合。

平台基本构成：大理石平台，表面精度高，耐温度形变；高精度导轨丝杆，电机配合的优良模组；ASC控制器实现平稳双驱。