系统组成：电子光学系统（扫描电子显微镜）、图形发生器、精密工件台、控制系统、真空系统、精密电源。

主要应用：

1：半导体器件研究：微波晶体管，单电子晶体管，***点，超导环等

2：光电子器件研究：特种光栅，菲涅尔波带板，晶体检波器，光波导，光集成器件

3：微机械研究：微纳机电系统，微通道，微传感器，3D微结构

4：消费电子研究：全息光学元件，新一代DVD光，光学传感器，磁头，声表面波器件

5：其他研究：非生产掩膜板制作，图形位置标定和CD测量