蔡司三坐标测量机在制造组装完成后，都要使用激光干涉仪和其它检测工具对21 项系统误差（各轴的两个直线度、两个角摆误差、自转误差、位置误差，三轴之间的垂直度误差，共21 项）进行检测，生成误差补偿文件，将这些误差用软件进行补偿，以保证测量机度符合合同的要求。测头触发后锁存的每一个点坐标都要经过误差计算、补偿后再传送给计算机测量软件。

配备有扫描功能的蔡司三坐标测量机，由于扫描测头采集的数据量非常大，用***的扫描数据处理单元进行处理，并控制蔡司三坐标测量机按照零件表面形状，保持扫描接触的方式运动。