１．  Zeiss三坐标测量机对环境要求为严格，应严格按合同要求控制温度及湿度；
２．  Zeiss三坐标测量机使用气浮轴承，理论上是结构，但是如果气源不干净，有油．水或杂质，就会造成气浮轴承阻塞，严重时会造成气浮轴承和气浮导轨划伤，后果十分严重。所以每天要检查机床气源，放水放油。定期清洗过滤器及油水分离器。还应注意机床气源前级空气来源，（空气压缩机或集中供气的储气罐）也需要定期检查；
３．   Zeiss三坐标测量机的导轨加工度很高，与空气轴承的间隙很小，如果导轨上面有灰尘或其它杂质，就容易造成气浮轴承和导轨划伤。所以每次开机前应清洁机器的导轨，金属导轨用航空擦拭（120或180号），花岗岩导轨用无水乙醇擦拭。
４．    切记在保养过程中不能给任何导轨上任何性质的油脂；
５．    定期给光杆、丝杆、齿条上少量防锈油；
６．    在长时间没有使用zeiss三坐标测量机时，在开机前应做好准备工作：控制室内的温度和湿度(24小时以上)，在南方湿润的环境中还应该定期把电控柜打开，使电路板也得到充分的干燥，避免电控系统由于受潮后突然加电后损坏。然后检查气源、电源是否正常；
７．    开机前检查电源，如有条件应配置稳压电源，定期检查接地。