在线测量系统三坐标测量机三坐标测量仪三坐标测量机作为现代大型精密、综合测量仪器，有其显著的优点，包括：

(1) 三坐标测量机的测量精度高且可靠;

(2) 三坐标测量机的灵活性强，可实现空间坐标点测量，方便地测量各种零件的三维轮廓尺寸及位置参数;

(3)三坐标测量机可方便地进行数字运算与程序控制，有很高的智能化程度。

在线测量系统三坐标测量机三坐标测量仪早期的三坐标测量机大多使用固定刚性测头，它为简单，缺点也很多。主要为

(1) 刚性测头为非反馈型测头，不能用于数控坐标测量机上;

(3) 测量时操作人员凭手的感觉来保证测头与工件的接触压力，这往往因人而异且与读数之间很难定量描述;

(3)必须对测头半径进行三维补偿才能得到真实的实物表面数据。

在线测量系统三坐标测量机三坐标测量仪针对上述缺陷，人们陆续开发出各种电感式、电容式反馈型微位移测头，解决了数控三坐标测量机自动测量的难题，但测量时测头与被测物之间仍存在一定的接触压力，对柔软物体的测量必然导致测量误差。另外测头半径三维补偿问题依然存在。三维测头的出现可以相对容易地解决测头半径三维补偿的难题，但三维测头仍存在接触压力，对不可触及的表面(如软表面，精密的光滑表面等)无法测量，而且测头的扫描速度受到机械限制，测量效率很低，不适合大范围测量。