诸多蔡司三坐标测量机测针的是球形的，常见的测针材料是人造宝石。这种点圆度测量的任何误差都可能成为影响三坐标测量机测量不确定度的因素，从而使三坐标测量机的精度降低10%。两个常见的指标是5级和10级(级别越低越好)。球面高度从5级降低到10级，并且针可以节省一些成本，但是它可能对高精度要求构成威胁。除了红宝石，还有氮化硅、氧化锆、陶瓷和碳化钨。在扫描应用中为明显，如红宝石针对铝或铸铁进行扫描，两种材料之间的相互作用将产生红宝石球表面的“粘着磨损”。因此，建议使用氮化硅针扫描铝制件或氧化锆针扫描铸铁制件，以避免粘着磨损。

关于如何校正三坐标测量机测针的方法有以下几点供蔡司的小伙伴参考：

1：在装配三坐标测量机测针配置时，应参照探针制造商规定的允许测针长度和重量。

2：在选择测针的时候尽量选择端的测针，因为越长的测针就容易弯曲和变形一旦出现上述的几个现象后，测量机的精度就会降低。

3：尽量选择测量球直径较大的阵：首先，它可以增加测量球与测量针之间的距离，从而减少由于测量针的碰撞而引起的误触发;其次，测球的直径越大，对被测工件表面粗糙度的影响越小(尤其在扫描应用中)。

4：尽量减少测针部件的数量：针和针杆之间的每个附加连接增加了潜在的弯曲和变形点。

5：在装配测针配置时，应参照探针制造商规定的允许测针长度和重量。