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高纯氦气气瓶储存的保存注意事项

对于气瓶我国有专门的放置规则,这样做是为了保证高纯氦气在运输期间能够安全运输。正确储存气瓶的注意事项。

一是气瓶应置于***仓库储存,工业气体价格,仓库应符合《建筑设计防火规范》的有关规定。

二是空瓶与重瓶应分开放置,工业气体,并有明显的标志,在附近设置灭火器材。

三是瓶内气体相互接触能引起燃烧、产生毒物的气瓶,严禁放在同一仓库内。

四是气瓶放置应整齐、戴好瓶帽,立放时应妥善固定,横放时顶部朝同一方向。

五是仓库内不得有地沟、暗道,严禁明火和其他热源。仓库内应通风、干燥,避免阳光直射、雨水淋湿,谨防仓库内积水,腐蚀钢瓶。




高纯气体配管及附件材质的选择

选用渗透性小、出气速率低、吸附性差的材料。目前超大规模集成电路前工序高纯气体输送系统管道材料采用不锈钢光亮退火管(SS304BA、SS316BA)、不锈钢电抛光管(SS316L-EP)等,但是对要求控制高纯气体中总杂质含量≤1.01.0×10-6及以下的管材应用SS316L-EP管。

注:①管路型式以气体特性设计,工业气体批发,惰性气体使用一般的单层管,作为制程用的反应气体,则选用SS316L-EP管;使用与芯片接触但不参与制程反应的气体则选用SS316L-BA管。

②对于自燃燃爆,有剧度的特种气体,如SiH4、PH3、AsH3等则考虑使用双套管,它的内/外管材质一般为SS316L-EP/SS316L-AP,此设计的主要目的有两点,首先可保护内管直接受到外力撞击,其次能将由内管渗漏的气体阻绝于外管,并利用相关的检测设备检测,目前常用的设计有正压和负压两种方式,负压设计是将内外管间抽成真空,正压设计则是灌以氮气维持正压,两者皆可接上压力表或者压力警报器检知泄漏状态。




氧气瓶会燃爆吗?以下情况,均会发生意外:

1、充装不当引起事故。气瓶的正确充装是保证气瓶安全使用的关键环节,由于充装不当引起燃爆事故时有发生。表现在这方面的蕞危险的因素是用盛装过可燃气体(如氢气)的气瓶来充装氧气和氧气充装过量。

2、气瓶的材质、制造质量不符合要求。在充装氧气和使用过程中,也往往发生燃爆事故,这方面主要表现在制作气瓶的材料脆弱、瓶壁厚薄不均匀,瓶体出现夹层等。

3、气瓶维护、保管不当造成事故。主要在于瓶体严重腐蚀或使用中将气瓶置于烈日下长时间的曝晒,或将气瓶靠近高温热源,这是气瓶燃爆的常见的直接原因。

4、气瓶瓶阀没有瓶帽保护、受振动或使用方法不当,造成密封不严、泄漏、甚至瓶阀损坏,致使高压气流冲出引起燃烧燃爆。

5、瓶阀或其他附件(如阀门杆、减压器)沾有油脂等也常常会引起着火燃烧事故。



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