真空：极限真空6*10 ^-5 帕

        工作真空6*10 ^-4 帕

        恢复工作真空时间：连接手套箱≤10分钟

        不连接手套箱，充干燥氮气≤30分钟

本套设备配有8个有机源及2个金属源

金属蒸发源和有机蒸发源可按客户要求配置

膜厚探头及膜厚仪有国产或者进口可选

金属蒸发源配有1000w电源

有机蒸发源配有可控温电源，控温精度±1℃