1、擦拭机器所需的物品：无尘纸或无尘布，无水乙醇(百分之99.7);

2、导轨面和花岗石台面，可用少量无水乙醇倒于无尘纸上擦拭，切勿将乙醇直接倒于导轨或台面上;机器外观(外罩，立柱)可用清水擦拭;光栅尺，直接用无尘纸轻轻擦拭，不需要溶剂;

3、擦拭时，须沿一个方向进行，切勿来回擦拭;

综上所述整理了几点清洁小常识，对蔡司三坐标测量机的保养会更加的方便，只有了解这些方面的保养措施便可以更方便的使用它。

蔡司自出研发的三坐标测头，其实也是一台小型的机器，它是由三个相同的弹性平行四边形形成，三个轴方向分别可有±3mm的偏移范围。不仅如此，每个轴都有感应式线性测量系统作为位置测量。三个个别导轨可以各自用机械锁紧且其测量系统相对机械零点的小于0.1μm。测量力是应用插入式线圈感应产生器所产生转换至各测头的固定器上。自动重量平衡机构可作因测头冲击而偏位的补偿。当电子定位控制在测头与工件接触就自动起作用。探测轴上导轨滑行，直到测头中的感应系统已经静止在其零点位置，此时机械坐标值才会被自动送到计算机。

扫瞄式测头其前端与触发式测头相同，因此它兼具有动态扫瞄和静态触发的功能。

机械式测头有很多种形状，球形，锥形，圆柱形等。球形的测头是一个直径约为2~10 mm的圆球，探针由碳化物材料制成。锥形的三坐标测头以决定孔为位置，或者两孔间距离的测量，使用前需注意孔与测头平行，即工件先作水平调整，然后再进行测量工作。圆柱形测头因其仅能求得三坐标的坐标值，适用于板金面间尺寸、边缘、曲面形状、凹槽直度等均可测量。