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真空机器人

　　一种在真空环境下工作的机器人，广数伺服驱动器维修，主要应用于半导体工业中，实现晶圆在真空腔室内的传输。真空机械手难进口、受限制、用量大、通用性强，三菱伺服驱动器维修，其成为制约了半导体装备整机的研发进度和整机产品竞争力的关键部件。而且国外对中国买家严加审查，归属于禁运产品目录，伺服驱动器维修，真空机械手已成为严重制约我国半导体设备整机装备制造的“卡脖子”问题。直驱型真空机器人技术属于原始创新技术

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监控要素

　　(1)电力系统：电源进出线开关状态、电压、电流、频率、功率、电度、油温、油压、水温、水压；

　　(2) 空调、新风机组：温湿度监测和控制、风阀调节、风机启停控制、过滤器状态、防冻开关状态；

　　(3) 监视器：全天监视进出人员，备有数天录相；

　　(4) 防盗、火灾报警：有自动和人工两种；

　　(5) 照明：开关状态、开关控制；

　　(6) 电梯：运行状态、运行控制；

　　(7) 水箱：低水位、高水位、超高水位检测；

　　(8) 排风机：运行状态、启停控制；

　　(9) 循环泵：运行状态、启停控制、出口水流；

　　(10) 热交换站：流量、温度、压力、供水调节；

　　(11)污水泵：水位、运行状态、启停控制；

　　(12)传呼系统：全天电力供应

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中国工业机器人产业链分析

　　中国工业机器人上游零部件行业主要是减速机、伺服电机、变频器、控制器等，其中减速器、伺服电机及伺服系统在工业机器人成本中所占比重较大，分别为39%，28%，本体制造占比为22%。

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