扩散炉是太阳能电池片形成P-N结的“心脏”，因此扩散炉的质量影响到电池片的电性能。现在太阳能厂家流行的的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散，开管扩散的产量比较低，偏磷酸的用量比较大；闭管扩散工艺过程完全不受外界环境干扰；软着陆扩散是根据现有6-8英寸集成电路扩散设备，高温扩散炉价格，而提出的新概念；软着陆扩散工艺质量完全受控；工艺有***尾气定向收集、集中处理排放；更加安环保。

随着***能源日趋紧张，太阳能成为新型能源得到了大力开发，江苏扩散炉，太阳能电池作为绿色环保的清洁能源，安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，扩散炉多少钱，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色。

在太阳能电池链式扩散工艺中，选择磷酸作为扩散源，在整个扩散工艺的前道工序中，磷酸通过喷涂机均匀喷涂在硅片表面，然后硅片通过传动机构进入扩散炉，这样硅片表面的磷酸会在扩散炉升温阶段挥发，从而附着在扩散炉腔体上方保温材料的表面，并且在高温下保温材料会被磷酸腐蚀而掉落。

  

扩散炉是半导体器件及大规模集成电路制造过程中用于对晶片进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺的一种热加工设备。

扩散炉是半导体集成电路工艺的基础设备，它与半导体工艺互相依存、互相促进、共同发展。

扩散炉主要是完成半导体元器件的扩散，氧化、退火、钎焊等工艺，具有应用范围广，***、控制精度高等特点。温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制，温度控制具有良好的稳定性、重复性。

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