随着***能源日趋紧张，太阳能成为新型能源得到了大力开发，太阳能电池作为绿色环保的清洁能源，安装量与日俱增。扩散炉是半导体生产线前工序的重要工艺设备之一，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，扩散炉在太阳能电池链式扩散工艺中扮演着非常重要的角色。

在太阳能电池链式扩散工艺中，选择磷酸作为扩散源，在整个扩散工艺的前道工序中，磷酸通过喷涂机均匀喷涂在硅片表面，然后硅片通过传动机构进入扩散炉，管式扩散炉，这样硅片表面的磷酸会在扩散炉升温阶段挥发，从而附着在扩散炉腔体上方保温材料的表面，并且在高温下保温材料会被磷酸腐蚀而掉落。

  

扩散炉是太阳能电池片形成P-N结的“心脏”，因此扩散炉的质量影响到电池片的电性能。现在太阳能厂家流行的的扩散方式有开管扩散、闭管扩散、软着陆扩散，开管扩散的产量比较低，扩散炉厂家，偏磷酸的用量比较大；闭管扩散工艺过程完全不受外界环境干扰；软着陆扩散是根据现有6-8英寸集成电路扩散设备，杭州扩散炉，而提出的新概念；软着陆扩散工艺质量完全受控；工艺有***尾气定向收集、集中处理排放；更加安环保。

扩散炉是集成电路生产线前工序的重要工艺设备之一。它的主要用途是对半导体进行掺杂，高温扩散炉价格，即在高温条件下将掺杂材料扩散入硅片，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域。扩散炉特点： 主机为水平一至四管炉系统构架，独立完成不同的工艺或相同工艺；工艺管路采用进口阀门管件组成气密性好、耐腐蚀、无污染。

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