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东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源曝光机研发制造的企业之一,是专注于冷光源精密曝光机系统的现代化企业。中国自主研发的14nm光刻机已经初步通过了***组的验收和审核,而继14nm制程工艺后,一个振奋人心的消息再次传来,国产光刻机再一次实现了新的技术突破。据媒体报道,武汉光电国家研究中心的甘宗松团队,目前已经成功研发9nm工艺制程的光刻机。值得一提的是,与传统光刻机不同,合川机械,这款国产光刻机利用二束激光突破了衍射极限的限制,而这是中国具有自主产权的技术。


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