光刻版(多图)-温州光罩

什么是光罩,作用是什么


光罩:在制作IC的过程中,利用光蚀刻技术,在半导体上形成图型,为将图型於晶圆上,必须透过光罩作用的原理,类似于冲洗照片时,利用底片将影像至相片上。

业内又称光掩模版、掩膜版,英文名称 MASK 或 PHOTOMASK,材质:石英玻璃、金属铬和感光胶,该产品是由石英玻璃作为衬底,在其上面镀上一层金属铬和感光胶,成为一种感光材料,把已设计好的电路图形通过电子激光设备曝光在感光胶上,被曝光的区域会被显影出来,在金属铬上形成电路图形,成为类似曝光后的底片的光掩模版,然后应用于对集成电路进行投影定位,光罩,通过集成电路光刻机对所投影的电路进行光蚀刻,其生产加工工序为:曝光,显影,去感光胶,后应用于光蚀刻。


光掩膜除了应用于芯片制造外,还广泛的应用与像LCD,PCB等方面。常见的光掩膜的种类有四种,铬版(chrome)、干版,凸版、液体凸版。主要分两个组成部分,基板和不透光材料。基板通常是高纯度,低反射率,低热膨胀系数的石英玻璃。









公司产品包括石英掩膜版,苏打掩膜版,以及菲林版。苏州制版根据客户的构想、草图,定制版图,苏州制版提供高质量掩膜版以及后期的代加工服务!

光刻光刻胶中的感光剂发生光化学反应,从而使正胶的感光区、负胶的非感光区能够溶解于显影液中;

显影(development)经显影,正胶的感光区、负胶的非感光区溶解于显影液中;

硬烘干也称坚膜。显影后,硅片还要经过一个高温处理过程,主要作用是除去光刻胶中剩余的溶剂,增强光刻胶对硅片表面的附着力,同时提高光刻胶在刻蚀和离子注入过程中的抗蚀性和保护能力;




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集成电路工业中的“掩模”是光掩模屏蔽数据:在半导体制造的整个过程中,部分是从布局到晶片制造的过程,即光掩模或掩模制造。这部分是流程连接的关键部分,也是流程中昂贵的部分。i较高的部分也是限制小线宽的瓶颈之一。





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