东莞市和川机械设备科技有限公司是中国较早从事冷光源曝光机研发制造的企业之一，是专注于冷光源精密曝光机系统的现代化企业。

1.确认万用表工作正常，量程置于200mV。

2.冷探针连接电压表的正电极，热探针与电压表的负极相连。

3.用冷、热探针接触硅片一个边沿不相连的两个点，电压表显示这两点间的电压为正值，说明导电类型为P型，刻蚀合格。相同的方法检测另外三个边沿的导电类型是否为P型。

4.如果经过检验，任何一个边沿没有刻蚀合格，LED曝光机，则这一批硅片需要重新装片，进行刻蚀。

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