电子车间净化换气次数与洁净度的关系是什么?
在电子车间净化洁净室实用范围内,换气次数与洁净度的关系密切,换气次数越大,洁净度级别就越高。换气次数和室内尘埃浓度的关系在双对数值上呈直线(假定微粒在室内均匀分布)和折线(实际微粒在室内为不均匀分布)的情况。既在静态和动态条件下,乱流洁净室换气次数与洁净度级别的关系曲线。
电子车间净化换气次数可以根据洁净室空气洁净度级别、室内人数、室内面积、室内产尘量和新风比通过公式求出来,特别是动态条件下更需要针对具体条件进行计算。
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怎么控制电子车间净化的污染?
洁净室的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。电子车间净化净化工程具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片,温度上升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以清除。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产温度范围为35—45%。想了解更多相关信息,可以咨询昭明净化机电工程有限公司,谢谢!
电子车间净化的设计规范是什么?
电子车间净化的建筑布局上一般在厂房外设置一环形密封走廊。它使洁净区与外界有了一个缓冲地带。能够防止外界污染同时也相对节能。厂房内门窗宜于内墙面平整,不设置窗台。外窗的层数设置和结构形式要充分考虑对空气水分的密封,使污染粒子不易从外部渗入。为防止室内外温差而产生结露,室内不同洁净度的房间之间的门窗缝隙要密封。门窗材料应选择耐侯性好,自然变形小,制造误差小,气密性好的,造型要简单,不易积尘,便于清扫,门框不设门槛。洁净厂房的门窗宜用金属或金属涂塑材料,不得使用木门窗,以免长期受潮长菌。外墙上的窗宜与内墙面平整,窗台呈斜角或不留窗台,且为双层固定窗以减少能量损失。
地面应用平整,无缝隙,耐磨耐腐蚀,不易集聚静电的,便于清理的整体地面。设计中可以采用现浇水磨石地面,所用石子直径应在6-15mm之间。其中分隔条必须采用铜条分隔,不得采用玻璃条。现多采用环氧自流坪地面,它是一种树脂类复合材料地坪。它的特点是无溶剂、无毒无味、无接缝、自流找平。可以.达到镜面装饰效果、无缝连接、耐油类及酸、碱、盐化学溶剂。具有防静电,发尘小,耐磨耐冲击等特点但是造价高。大多采用于要求高洁净度、外表美观、无尘、无菌的电子、、血液制品等行业生产车间地面。环氧自流坪地面的使用寿命厚度1mm以上一般可使用6年以上。以上地坪地面垫层下应铺设防潮层,混凝土分仓线不宜通过洁净区。
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