洁净室中的温湿度控制洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定，但在满足工艺要求的条件下，应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高，出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。所以压力差的物理意义就是漏泄（或渗透）风量通过洁净室的各种缝隙时的阻力。具体工艺对温度的要求以后还要列举，但作为总的原则看，由于加工精度越来越精细，所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100 um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间温度不宜超过25度，湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外，湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面难以清除。相对湿度越高,粘附的越难去掉，但当相对湿度低于30%时，又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面，同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产合适湿度范围为35—45%。

3、依据气候条件选空调箱

   关于空调箱的选择，应考虑所处的气候环境。在本设计里是指末端工艺的一些无尘车间，其净化洁净度一般为千级或万级或十万级。如在冬季气温低、空气含尘量大的北方地区，则应在通用的空调机组上增设新风预热段，采用淋水式空气处理方式，使其既对空气洗尘又使其产生热温交换达到所要求的温、湿度。而在气候湿润，空气含尘浓度较低的南方地区，则冬季也无需对新风预热，对空气的过滤及温、湿度的调节则采用初效过滤，表冷面调节温湿度，也可加强温减湿工序，再经中效过滤和终端或亚过滤。空调箱配套风机一般建议采用变频风机，这不仅节能，还可灵活调节风量风压。

洁净厂房隔断车间板材

      1、彩钢夹芯板，缺点：不防火

泡沫夹芯板是由彩色钢板作表层，闭孔自熄型聚本乙烯泡沫塑料做芯材，通过自动化连续成型机将彩色钢板压型后用高强度 粘合剂粘合而成的一种新型复合建筑材料。喷干蒸汽的加湿方法要注意干蒸汽加湿器有一个喷蒸汽效率的问题，并非喷入空调箱内的蒸汽全部加入到空调送风中，而其中有一部分变成凝结水排放出来。主要适用于公共建筑、工业洁净厂房的屋面、墙壁和电子、、食品洁净厂房以及组合冷库、楼房加层、商亭等。

      2、岩棉夹芯彩钢板（缺点：硬度不强）

      是由天然的岩石，高炉铁矿渣等经高温熔化成丝，再经过固化成型。它具有600℃的耐火性能，耐火等级达到1级。它的芯材是不可以燃烧的岩棉。如有防腐、防锈工程，其表面材料可改用不锈钢板面。

      3、机制板夹芯板（缺点：造价较高）

      机制板机械制作，一次成型，中间填充岩棉、聚氨酯、泡沫等材料.两侧为雌雄口连接.广泛应用于工业洁净厂房的非承重内墙面、屋面、吊顶及单层组合房屋的承重墙板，主要用于电子、半导体、、生物、食品等洁净车间的净化隔断、吊顶。