洁净室简介

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洁净室的发展与现代工业、技术密切联系在一起。由于精密机械工业（如陀螺仪、微型轴承等加工）、半导体工业（如大规模集成电路生产）等对环境的要求，促进了洁净室技术的发展。国内曾统计过，在无洁净级别的要求的环境下生产MOS电路管芯的合格率仅10%~15%，64为储存器仅2%。目前在精密机械、半导体、宇航、原子能等工业中应用洁净室已相当普遍。

洁净室节能的技巧

换气次数

洁净室维持一定的空气流量来保持清洁度和颗粒数。流量根据每小时的换气次数来确定，同时这也决定了风机尺寸、建筑构型和能量消耗。在保持洁净度的前提条件下，空气流速的降低可以降低建造及能耗成本。换气次数降低20%就可以使风机的尺寸降低50%。空气洁净度比节约能耗更重要，但是近期的研究成果已经有降低洁净成本的记载了。

关于换气次数还没有达成共识。许多原则都已过时，是建立在老观念上，采用低效的空气过滤器。调查显示，ISO第5级标准的洁净室推荐的换气次数变化范围是从250到700以上。

美国的一所实验室正在确定ISO第5级洁净室的标准。研究显示，实际换气次数范围是90到250――比操作规程标准低很多，而且不会影响生产和洁净度。因此建议ISO第5级洁净室的换气次数大约是200，保守的上限是300。

热量回收

许多任务厂都要消耗大量的能量来制热，同时又消耗更多的能量从工艺过程中移除“废”热，却没有把这两个过程结合起来。回收的热量可以用来预热新风，送风再热，以及其它用途。AHU预热盘管可以用废水预热外来的空气（在炎热的天气下也可预冷）。

再热盘管可以从空气压缩机或者冷冻机的冷凝器回水中回收废热，同时节省了冷冻机能量和锅炉燃料。热交换器可以使不能混合或者直接接触的不同介质进行热量交换。