5XHRSEM提供了研究应用的所有灵活性，以容纳大样本，如全晶片或冶金样品，执行快速分析由于其高电流模式或工作在精密原型应用，如电子束诱导直接沉积材料或光刻。在半导体和数据存储市场，Verios 5XHRSEM性能显着扩展了SEM的能力，为基础研究、工艺和材料开发、过程控制和失效分析提供了完整的解决方案。它提供了准确的，可重复的测量结果，即使在***敏感的材料。5XHRSEM的特点是行业性能，而不影响高吞吐量、样品灵活性和传统SEM的易用性。