PECVD中用的石英管规格主要有两种：30*26*1130以及30*25*1130。 石英管在PECVD中的作用： 1) 石英管是硅材料，它界定了反应的范围，使反应均匀。做真空chamber用；石英管，结合前后盖板，提供了一个密封的反应腔。石英管是一个窗口的作用， 本身不产生等离子体，是微波源与铜波导管产生的。 2)干净，钠离子含量低； 为什么要定期更换石英管？ 定期更换石英管，也就是“擦窗户”的效果。用的时间长了，石英外壁会沉淀厚厚一层SiNx，影响石英管的激发效果，会影响均匀性和效率。不便于调节反应参数，所以要定期更换。

在具体应用中双色石英管液位计具体维护保养要点如下：

1、包装后的水位计可用常规的运输工具运输，但应避免剧烈振动和雨雪直接侵蚀。

2、水位计应放在温度0~40℃，相对湿度不大于80%的干燥通风室内，室外空气不应含腐蚀仪表的介质。

3、水位计必须垂直安装，石英板品牌，其垂直偏差度应小于3°。

4、水位计与容器之间应装有截止阀，以便清洗和检修时与介质隔离。

5、根据介质情况，应定期对本体管进行清洗，清除管内的杂物。

石英管的种类大致可分为以下几种：透明石英管（外径1.5毫米--300毫米）、滤紫外石英管、彩色石英管乳白管，粉红管等。

石英管的级别可分为合格管，一级管，优级管和脱羟管等。

石英管怎么去区分好坏？

一：闻起来有很天然的石味道、闻气味残次的石英石出产过程中加入了含甲醛的胶水，好的石英管都是环保材料出产。出产出的板材有很浓的甲醛味，这种石英管报价再贱卖也不能选啊，危害生命！

二：有气孔则欠好的石英管、表面是不是有气孔。

三：不明显的为好的产品、拼接处缝隙。

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