真空磁控溅射镀膜

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，磁控溅射台生产，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

磁控溅射台

真空磁控溅射镀膜

所谓溅射就是用荷能粒子（通常用惰性气体的正离子）去轰击固体（以下称靶材）表面，从而引起靶材表面上的原子（或分子）从其中逸出的一种现象。这一现象是格洛夫（Grove）于1842年在实验研究阴极腐蚀问题时，阴极材料被迁移到真空管壁上而发现的。

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磁控溅射镀膜机工艺

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

磁控溅射台

关键工艺参数的优化

关键工艺参数的优化基于实验探索。实验是在自制的双室直流磁控溅射镀膜设备上进行的。该设备的镀膜室采用内腔尺寸为6700mm ×800mm ×2060mm的箱式形状，抽气系统采用两套K600 扩散泵机组，靶材采用德国Leybold 公司生产的陶瓷靶，ITO 薄膜基底是尺寸为1000mm ×500mm ×5mm 的普通浮法玻璃。

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磁控溅射窗膜的应用与发展历程

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磁控溅射窗膜的应用与发展历程

磁控溅射工艺在窗膜行业的应用***早的企业是圣戈班的前身贝卡尔特特舒镀膜的前身MSC公司，那是在70年代末。当时生产的产品只有1米宽。80年代中期才有1.52宽幅的磁控溅射膜问世。到了90年代多层磁控溅射具有高透光高隔热的***窗膜问世。***有代表性的是绍华科技开发的7层磁控溅射膜，也就是90年代末进入中国的威固V70。这款膜的出现将磁控溅射窗膜技术推向了***。在透光率70%的的情况下将总隔热做到了55%，已接近窗膜的隔热极限了。再2000年后相续有贝卡尔特9层磁控膜推出，韶华自己的10层磁控膜推出，磁控溅射台哪有卖，隔热性能都没有明显的提升。直至今日，威固刚发布的V70S新品也只是将透光率提高了4个点为74%，而隔热率为54%，反下将了一个点。这么算下来，磁控溅射台哪里有，就是用新的技术把透光率做到70%，总隔热58%也就是目前磁控膜的极限了。反观国内各大小品牌。在隔热膜透光率70%以上的前提下，太阳能总阻隔率标注为60%多、70%多，80%多，甚至还有90%多的，我是想笑，还是想笑呢？如此标注的还有上市公司。原来国内的技术早已超过了美国，甚至超越了能量守恒定率。

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