电子束蒸发镀膜机结构特点

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，电子束镀膜仪，硬质涂层设备等。

电子束镀膜仪

结构特点：

1、卷饶系统采用高精度支流或交流变频调速，电子束镀膜仪哪有卖，具有运行平稳、速度高、对原卷材不划伤、不折皱，收卷端面征集等特点；

2、张力控制采用进口数字张力控制系统，具有张力、线速度恒定，动作快速的特点；

3、各组送丝由微机电机独立控制，可总调或单独调速，并有速度显示；

4、真空系统配置精良，抽气速度快，采用PLC控制；

5、配备大功率电源，镀膜***，膜层均匀性好。

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比较激光表面处理技术和电子束表面处理技术的异同点

北京泰科诺科技有限公司自2003年成立以来，一直专注于真空设备的研发、制造，集真空镀膜设备、真空应用设备等相关设备及工艺的研发、制造、销售、服务于一体的高新技术企业。主营产品蒸发镀膜机，磁控溅射镀膜机，电子束蒸发镀膜机，多弧离子溅射镀膜机，热丝CVD设备，装饰镀膜机，硬质涂层设备等。

电子束镀膜仪

电子束、离子束、激光束是表面工程领域内的三大载体，号称三束改性。都具有高能量密度特性。

顾名思义电子束加工是以激发电子作为载体，离子束则以离子。离子束加工是一种元素注入过程，具有辐照损伤、喷丸作用、表面压缩、形成表面非晶态，形成弥散化合物质点等效应，而电子束与激光束的主要作用在高能量，没有辐照、表面压缩等特性。

1.加工原理:电子束和离子束的加工原理相似，都是发生撞击效应、溅射效应和 注入效应，从而实现加工;而激光束加工的机理是热效应。

2.加工装置:电子束和离子束相似，主要由电子***系统、真空系统、控制系统、 和电源系统做成;而激光束是由激光器、电源、光学系统、机械系统等组成。

3.加工特点:

电子束: (1).束径小、能量密度高; (2).非接触加工，加工过程中工具与加工工件之间不存在明显的机械切削力，不产生宏观 应力和变形; (3).被加工对象范围广; (4).电子束能量高，加工速度快、***; (5).电子束加工需要一套***设备和真空系统，价格昂贵。

离子束: (1).加工精度和表面质量高; (2).加工材料广泛; (3).加工方法丰富; (4).性能好，易于实现自动化; (5).应用范围广泛，可根据加工要求选择。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、***; (5).价格昂贵 加工方法:

电子束; (1).电子束扫描曝光; (2).电子束投影曝光; (3).电子束表面改性。

离子束: (1).离子束溅射去除加工; (2).离子束溅射镀膜加工; (3).离子束注入加工; (4).离子束曝光加工。

激光束: (1).加工精度高; (2).加工材料范围广; (3).加工性能好; (4).加工速度快、***; (5).价格昂贵。

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电子束镀膜属于蒸镀还是溅射？

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1.蒸发镀膜和溅射镀以及离子镀都是物理的气相沉积（PVD）的工艺方法。

2.蒸发镀主要包括：电阻加热蒸发、感应加热蒸发、电子束蒸发、激光加热蒸发、离子束蒸镀等。

3.您所说的E型***镀膜和直型电子***镀膜都是属于热蒸发镀膜的范畴。

4.S***溅射实际就是锥形磁控溅射靶，阴极靶材为环状锥形，安装在水冷座上。环状磁钢套在靶材外边形成曲线磁场，其平行靶面的磁场分量和垂直于靶面的电场分量形成正交电磁场。电子束被约束在靶面附近运动，电子流密度很大，在靶面附近产生很强的非弹性碰撞，电离几率很大，形成很强的等离子体。

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