催化燃烧法是在催化剂的作用下将废气中的有机污染物完全氧化成CO2和H2O。催化燃烧法的起燃温度低，安全性能好，对需净化有机物的浓度限制小，这使RCO催化燃烧设备较多应用于低浓度有机污染物的处理，但废气中的尘粒和雾滴有可能使催化剂寿命降低，因而RCO催化燃烧设备不宜于处理含尘粒和雾滴的有机废气。RCO催化燃烧设备催化燃烧的催化剂有***催化剂、非***催化剂和稀土金属催化剂，通常将催化剂的活性组分载到载体上制成粒状或蜂窝状使用。
主要工艺流程分为：吸附阶段、脱附阶段、间歇淋水阶段、冷却干燥阶段、分层分离阶段、计量回收阶段；根据不同废气工况通常增设不同的预处理工艺。RTO、RCO、CO高温氧化有机废气处理工艺。该工艺占地面积小、高浓度时能耗低、投资少、处理***、运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作。
主要针对成分复杂、无回收经济价值、VOCs浓度高的有机废气；经过一级处理后，有机废气净化***达98%以上；无污染物转移，无二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；根据不同工况可做余热回收利用。吸附浓缩 高温催化氧化有机废气处理工艺。RCO催化燃烧设备工艺占地面积小、能耗低、及运营管理简便，全智能控制，无需***人员操作；主要针对成分复杂、无回收经济价值、有机废气浓度低的废气；经过处理后，RCO催化燃烧设备净化***达95%以上；无污染物转移，没有二次污染，排放尾气主要成分为二氧化碳和水；该工艺根据不同有机废气成分选用不用的吸附剂，通常选用蜂窝活性炭、碳纤维、颗粒活性炭、分子筛等。
催化燃烧用的RCO催化燃烧设备可分为:①***类:铂、钯、钌等。***催化剂有很高的氧化活性和易回收等优点，虽然存在着资源稀少、价格昂贵和耐***性差等缺点，但仍然是***采用的主要催化剂。②非***类：主要是过渡族元素的氧化物以及稀土元素的氧化物。单组分氧化物耐热性差，活性低，致使应用受到限制。以后改用两种以上的金属氧化物的混合物，如二氧化锰－氧化铜的复合物，三氧化二铁－三氧化二铬复合物，氧化铜－三氧化二铬复合物，钴、锰的尖晶石型复合物，铜、锰、镍、锌的铬酸盐等。复合氧化物虽可改善某些催化性能，但氧化活性仍不及***。此外，还有金属硫化物如钍、镍、钼、钴的硫化物。这类RCO催化燃烧设备一般只适用于含硫的碳氢化合物的催化燃烧,使用温度限于300～400℃，高温时易分解。