一、真空镀膜器材污染物的来源及清洁处理
真空镀膜器材由许多不同的零件组成，它们都是经过各种机械加工完成得，例如车、铣、刨、磨、镗、焊接等。这样，零件表面不可避免地会沾上许多加工油脂、汗痕、抛光膏、焊剂、金属屑、油垢等污染物。这些污染物在真空中易挥发，影响真空镀膜设备的极限压力和性能稳定性。此外，污染物的大气压下吸附了大量的气体，冷水江真空镀加工厂家，在真空环境中，这些气体也要被释放出来，构成了限制真空镀膜设备极限压力的因素。为此，零件组装前必须清除掉污染物。
二、真空镀膜器材真空系统地清洗处理
1、油扩散泵真空系统地污染与防治
油扩散泵真空系统是使用广泛的真空系统，其获得真空度范围为1.3*10-3~1.3*10-5Pa。油扩散泵真空系统构成的各类真空镀膜设备，常见的故障是真空度抽不上去或真空度抽不到原来的极限压力水平。真空度抽不上去的原因需要仔细分析，可能是活动密封处松动、焊缝漏气、真空泵或真空阀门等元件损坏等原因所导致。此外，真空室内壁的油蒸汽污染，真空工艺过程各种污染物的污染也可能是主要原因。防止的方法是：定期清洗真空室。定期对油封机械真空泵和油金属扩散泵进行清理。
2、超高真空系统地烘烤与清洗
由溅射离子泵和钛升华泵组成的真空系统是目前获得清洁超高真空的主要抽气手段，能获得低于1.3*10-3Pa的压力。中小型真空镀膜设备真空系统以溅射离子泵作为主泵，大型真空系统以钛升华泵做主泵。超高真空系统要求真空室内壁相当干净，零件表面粗糙度要求高，材料放气量要小。真空室零件要进行严格地清洁处理，不要用手接触零件表面。真空室的漏率也要严加控制。除此外，还要对真空室进行烘烤。
真空镀膜加工的分类之离子镀
什么是离子镀?真空镀膜中离子镀和普通离子镀有什么却别呢?下面小编就来介绍下真空镀膜加工的分类之离子镀。
蒸发物质的分子被电子碰撞电离后以离子沉积在固体表面，称为离子镀。这种技术是D.麦托克斯于1963年提出的。离子镀是真空蒸发与阴极溅射技术的结合。
一种离子镀系统是将基片台作为阴极，外壳作阳极，充入惰性气体以产生辉光放电。从蒸发源蒸发的分子通过等离子区时发生电离。正离子被基片台负电压加速打到基片表面。未电离的中性原子(约占蒸发料的95%)也沉积在基片或真空室壁表面。
电场对离化的蒸气分子的加速作用(离子能量约几百～几千电子伏)和亚离子对基片的溅射清洗作用，使膜层附着强度大大提高。离子镀工艺综合了蒸发(高沉积速率)与溅射(良好的膜层附着力)工艺的特点，临湘真空镀加工厂家，并有很好的绕射性，可为形状复杂的工件镀膜。
真空镀膜设备在我国经济中有哪些作用？真空镀膜设备是镀膜工业上的一个重要部分，若没***的镀膜机器，就没有现代化的镀膜工业。
长期以来，因为国民经济的不断提高及人民生活水平的改善，真空镀加工厂家，极大影响了镀膜工业在国民经济的地位和作用，对于产品镀膜的要求越来越多，市场需求越来越大。
镀膜设备种类复杂，只需要按照大的工艺分常有的，比如蒸发、磁控溅射、离子等PVD镀膜技术，按没个镀膜加工企业要求不同又需要配置不同的设备和程序。
我国镀膜机械，经过了几十年发展，形成了门类齐全、布局合理，品种配套，真空镀膜技术水平与镀膜工业发展基本适应的体系，真空镀膜设备已经不能再叫新行业了，其是一个有创新能力的成熟行业，镀膜技术从重污染转为轻污染直至以后的无污染，创新是前提，随着更新型节能环保的真空机械设备研发必将改变整个工业。
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