centrotherm 炉子
敝司代理centrotherm的各种炉子,比如
1.真空焊接炉c.VLO-Series适用大批量的生产,焊接过程中的温度范围可高达450°C以上,客户应用领域涵盖:MEMS,Mosfet、IGBT,***的封装和光电领域。
2.扩散炉c.Verticoo Mini /c.Verticoo200多达5层堆叠的石英或碳化硅工艺炉管,可灵活选配工艺炉管,每个炉管之间不存在热干扰,***的水冷却系统,一体化炉管控制系统。
3.PECVD/LPCVD的c.Horicoo200/300系统是管式系统,采用平行式石墨舟和低频(40KHZ)激发等离子体放电。在低压和高温的条件下,等离子体在石墨舟的石墨电极之间激发。对硅片具有表面钝化和体钝化的双重功能。
4.氧化炉c.OXIDATOR150工艺温度从900℃到1500℃,高氧化质量,N2O和NO氧化物氮化,占地面积小,所有无金属加热器和绝缘
批量可达50片晶圆。

5.退火炉c.Activator150/c.RAPID200,表面粗糙度(需适当的C-cap),温度可达2000 °C,能持续运行≤1600 °C,升温速率高达100 K/min,批量处理2“,3“,100 mm,150 mm碳化硅晶圆,批量一次工艺可达50片(150 mm),真空<10-3 mbar(选配),温度自动校准。


公司简介:

深圳东荣兴业电子有限公司于1993年6月在香港成立,作为面向中国电子元器件生产厂家的综合贸易公司,秉承诚信的经营理念为国内客户提供周到的服务。为了更有效地服务国内客户,于1997年成立了深圳办事处,并将业务范围拓展到涉及包括石英晶体谐振器/振荡器、声表面滤波器、电容、电阻、电感以及半导体、光学在内的元器件领域,业务范围遍及国内及港台地区。此外,公司于2002年在苏州成立了办事处及槽轮加工厂,且于 2004年在台湾成立了办事处,为顾客提供更优良、快捷的售前与售后服务。


深圳东荣兴业电子有限公司
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