制造商提供了业界l先的表面形态测量。通过非接触式光学测量技术记录下整个表面的数据。能够快速和准确地对各种表面的平面度、线型和其他表面参数进行测量。

产品特点：

■ 无接触和无损伤测量

■ 适用多种类型材料：半导体，金属，聚合物，陶瓷，玻璃和其它材料

■ 适用多种类型晶片：硅/蓝宝石/碳化硅//石英/锗/铌酸锂

■ 适用多种类型表面：研磨表面，抛光面，超光滑面

■ 测量多种不同指标：

厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/压力/翘曲度/弯曲度/平坦度/平面度/线轮廓/表面轮廓

■ 完整的分析系统：

三维/拓扑/合格率/分布/二维环形和半径切面/平面/球面/锥形匹配/局部平面度分析/斜度

■ 可以实现自动、快速、准确、稳定的测量

■ 超过15年的工业应用，***几百台的装机量

技术参数：

■ J确度：50nm （2.0μ″）

■ 重复性：15 nm（0.6μ″）（1 sigma）

■ 分辨率：5nm （0.2μ″）

■ 可测量工件尺寸：25mm-200mm

■ 动态测量范围：>100um

■ 测量数据点：230,000 / measurement

■ 测量时间：5秒

■ 电源：～220V  50Hz