感应耦合等离子体刻蚀机的结构三

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供气系统供气系统是向刻蚀腔体输送各种刻蚀气体，通过压力控制器（PC）和质量流量控制器（MFC）***的控制气体的流速和流量。气体供应系统由气源瓶、气体输送管道、控制系统、混合单元等组成。

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感应耦合等离子体刻蚀机的结构一

预真空室预真空室的作用是确保刻蚀腔内维持在设定的真空度，不受外界环境（如：粉尘、水汽）的影响，将危险性气体与洁净厂房隔离开来。它由盖板、机械手、传动机构、隔离门等组成。

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等离子刻蚀工艺

高密度等离子体源在刻蚀工艺上具有许多优势，感应耦合等离子体刻蚀机供应商，例如，可以***地控制工作尺寸，刻蚀速率更高，更好的材料选择性。高密度等离子体源可以在低压下工作，从而减弱鞘层振荡现象。使用高密度等离子体源刻蚀晶片时，为了使能量和离子通量彼此独立，需要采用独立射频源对晶圆施加偏压。因为典型的离子能量在几个电子伏特量级，江苏感应耦合等离子体刻蚀机，在离子进入负鞘层后，其能量经加速将达到上百电子伏特，感应耦合等离子体刻蚀机供货商，并具有高度指向性，从而赋予离子刻蚀的各向异性。

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