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蚀刻是制造薄膜晶体管液晶显示装置(ThinFirm Transistor Liquid Crystal Display，TFT_LCD)阵列基板过程中的一个重要制程。蚀刻工艺根据蚀刻剂的物理状态分为干蚀刻工艺和湿蚀刻工艺，干蚀刻工艺利用蚀刻气体进行蚀刻，湿蚀刻工艺利用蚀刻液体进行蚀刻。

现有的干蚀刻装置通常包括:真空腔(未图示)、设于所述真空腔内的上电极板(未图示)、与上电极板相对间隔设置的下电极板1、位于所述下电极板I下方用于承载下电极板I的绝缘板2、设于所述下电极板I上的静电吸附平台3、位于上、下电极板I之间的等离子体(Plasma)真空放电区(未图示)、及与上、下电极板相连的电源(未图示)，利用等离子体真空放电区内的高压电场互相作用所产生的等离子体来对设于静电吸附平台3上的晶元或玻璃基板4进行蚀刻。

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干法刻蚀是用等离子体进行薄膜刻蚀的技术。当气体以等离子体形式存在时，它具备两个特点:一方面等离子体中的这些气体化学活性比常态下时要强很多，根据被刻蚀材料的不同，选择合适的气体，就可以更快地与材料进行反应，实现刻蚀去除的目的。现有技术中，高速率干法刻蚀所用等离子激发手段主要为ICCP(Impressed Current CathodicProtect 1n，外加电流阴极保护)，若要想进一步提高刻蚀速率，一般来说可以通过提高等离子体激励源频率来获得更高的等离子体截止密度，达到提高刻蚀速率的目的。但提高激励源频率会导致电极表面驻波等问题，导致刻蚀速率不均匀，无法大面积均匀刻蚀。

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外部腐蚀环境的影响严酷的腐蚀

　　环境并不只是作用在机体表面或结构部位，同样，盐雾和湿气会进入到机体内部的航空电子设备区，中山蚀刻面板加工，并因其特殊位置，很难检查出已经导入设备内部的这些液体介质。以下列举了一些典型的腐蚀环境。航母甲板上的维护作业，口盖、雷达、舱门和设备区的频繁打开，蚀刻面板加工电话，海水气氛直接影响到了航空电子设备的***部位，且不易排出;飞机或航母排放的在空气中形成硫酸，渗入设备中，加速了腐蚀。开启口盖时使得顶部的凝露、雨水落到口盖控制杆、控制面板、控制台上，腐蚀航空电子设备内部异种金属连接部位，紧固件连接区。维护作业过程中，人为造成的恶劣环境也会对航空电子设备产生影响。附件的操作(焊接、喷涂和溶剂清洗)产生的烟和蒸气均可能引发腐蚀。工作站的空调系统会持续地提供低温，在工作站中，如果不控制湿度，湿气冷却后将会产生冷凝液。飞机低空掠海飞行时处于高浓度盐雾环境下，湿气会渗入飞机中，极易导致电缆、电连接器、天线、雷达、控制开关、焊接线和电搭接处等零件或部位产生腐蚀问题。直升机海上低空悬停时，旋翼扬起的水汽形成酸性盐雾包裹着机身，大量的盐雾甚至海水被卷入到发动机进气口中或机身缝隙中，超过机身自排水能力。直升机在执行海上救援任务时，人员、设备、货物附着的海水也会进入机舱内，这些腐蚀性极强的海水在飞机内部流动，后积聚在机身底部，渗入机身底部天线系统或其他电子设备中。还有飞机停放阶段的腐蚀环境，以及航空电子设备存储运输的腐蚀环境都是必须考虑的问题。

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电泳涂装：电泳的操作是在称之为电泳槽的装置中进行的，电泳槽里面有一些化学物，这些化学物会粘附在金属表面形成一层膜，从而保护车身材料。

电焊密封胶：它是弥补电泳涂装的一些漏洞而产生的。汽车车身零件在焊接过程中，其接触边因间隙太小故而电泳无法发挥作用，为防治水灌入，就得采用电焊密封胶。

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腐蚀

确认模具可以腐蚀后，型腔四周用双面不干胶纸和聚绿乙烯塑料布贴围三层，形成腐蚀保护围裙，蚀刻面板加工厂，比模具长出400～600mm。腐蚀机采用喷嘴式球形喷头，半个球体均布19个喷嘴，可均匀立体喷射。

用电动葫芦吊挂模具，型腔朝下，喷头朝上并处于保护围裙中心，两人扶住模具缓慢旋转，开动腐蚀机，用秒表计时，腐蚀7～10min，夏天取下限，冬天取上限。

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