氦质谱检漏法的应用领域
氦质谱检漏法由于其高的灵敏度、方法的多样性、对各种试件的适应性以及无破坏性，使其广泛应用。主要领域和产品如下：
原子能工业——气体扩散处理系统、容器；
高能物理研究院——及其配件；
电力工业——高压开关、避雷器、发电厂冷凝器系统；
电力工业——电子器件、半导体、传感器和积成电路；
航空航天——燃料箱、油箱、及各种电机等；
仪表制造——压力传感器、阀门、波纹管和密封焊接件等；
空调制冷工业——压缩机、冷凝器、蒸发器及阀门等；
真空科学与工业——泵、阀门、真空规管以及镀膜机、真空炉等真空系统；
冶金——真空电炉；
低温与压力容器——液氮和液氦储存罐、生物制品容器及各类压力容器；
轻工产品——保温杯、太阳能集热管、饮料罐口等。
这些部门的产品要求一定的密封性，其中，有的产品的泄漏会危害产品或工作过程，还有些产品泄漏会造成物质的流失，严重的会危害操作人员的生命健康。
安徽诺益科技有限公司是一家***从事氦质谱检漏仪、氦检漏真空箱、回收系统和差压气密性检漏仪的研发、生产及销售为一体的***型高科技创新型企业。公司自成立以来，以“积极乐观、勇于担当、不轻然诺，精益求精”的企业精神，一步一个脚印发展成为中国同类企业中经营范围广、在行业内颇具影响力的企业。
氦质谱检漏仪的日常保养与维护
以下是深圳锐诚真空为您一起分享的内容，深圳锐诚真空***生产氦检漏设备，欢迎新老客户莅临。
质谱检漏仪因具备检测灵敏度高、反应速度快、定位定量准确等优点而被广泛应用，但是在长时间的使用过程中常常会出现一些故障和现象，从而影响设备的正常使用。
检漏仪的故障和处理
1 内部的泄漏
当检漏仪内部存在泄漏时，会对检漏工作造成较大干扰，容易造成误检、误判。各零部件接口处的密封部位。如放大器与质谱室、离子源与质谱室、分子泵与质谱室、标准漏孔与阀门组件、真空计与阀门组件等接口间的橡胶圈密封。采用喷氦法寻找漏点，更换密封件。
2 本底信号不稳定
1）本底信号过高有可能是环境本底被污染，注意检查室内是否有氦气源在泄漏。将室内的门窗打开通风，降低环境本底。
2）本底信号过高也有可能是因为质谱室被污染。检漏仪若经常检测含有油污、粉尘等杂质较多的被检件时，质谱室极易被污染，需返厂进行清洗，本底信号不稳定，检查电源电压是否稳定，检漏仪应有可靠的接地。
3）本底信号不稳定，检查泵油是否浑浊，被污染。
3 设备的分子泵不启动
分子泵不启动，主要有检查供电和前级真空是否正常（较常见的是前级真空机械泵故障或没有打开造成的分子泵无法启动）。或者是分子泵本身因振动和粉尘污染造成的损坏。
4 设备的质谱室不能正常工作
质谱室主要是灯丝无法正常加电，在确认机械泵、分子泵处于正常工作状态后，若灯丝仍无法发射离子流，则需要更换离子源。
5 前级机械泵工作不正常
主要经常观察泵油的颜色是否正常，粉尘的污染会使油色变黑，水汽会使油色呈现乳白色，都将导致机械泵工作不正常。另外过低的温度会使机械泵油粘稠度增加无法启动，过高的温度也会使机械泵产生热保停止工作，使用机械泵的环境温度在+10至+40之间使用。
检漏仪的保养注意事项
1.如果仪器不是每天使用，建议每周开机检查一下，使仪器高真空系统保持真空，缩短仪器使用时的开机时间
2.拆卸仪器部件（如离子源）后，安装时要避免安装部位出现泄漏，可用仪器进行自身检漏。
3.适时对仪器可能出现的泄漏处（如放气阀等）进行自身检漏，发现漏点后要及时取下清洗或固紧，以免在检漏时干扰检漏工作。
4.检漏仪维修每隔一段时间保养油泵。（散热口灰尘处理，和泵油的检查更换）
5.禁止任何外来物掉在或洒在检漏仪上，尤其是进气口中，由于氦检漏仪为精密仪器，其存放和使用环境要保持干净、卫生。只有经过培训或有资格的设备维护工程师，才能使用此仪器。
6.使用时，注意观察仪器的运行情况，一旦发现问题（如较大振动、高噪音等），仪器在运行过程中不能移动。涡轮分子泵处于高速运转中，若搬动检漏仪，容易使分子泵内的叶片与转子的筒体相碰撞。马上切断电源，并排除故障。
