作为半导体晶圆代工厂气体的使用者，每一位工作人员都应该在使用前对各种危险气体的安全数据加以了解，并且应该知道如何应对这些气体外泄时的紧急处理程序。一般来讲，我们将有三重保障来防范万一有意外发生的危险气体外泄进入到工作环境中。一个是特种气体的气瓶以及全部经过正负压测漏的气体输送管路；第二个是持续不断的排气抽风系统（Exhaust），管路节点如气瓶柜、VMB、工作台等均具有很强排气抽风系统，管道氮气置换，以确保每一管路节点外围都处于负压环境。若发生微量的有毒气体的泄漏，排气抽风系统将******时间抽出；另外一个很重要的是处于抽风口或环境点的毒性气体侦测器系统，若发生任何有毒气体的泄漏将会被气体侦测系统所侦测到，这个控制系统将根据气体外泄对人体危害的大小来确定整个气体输送系统的相关互锁动作，严重时紧急关闭上游所有气源，同时会驱动中央控制室和现场的相关报警系统LAU，甚至会驱动全厂的自动语音广播系统通知立即疏散，要求相关人员迅速撤离报警区域。因此只要工程技术人员严格按照所制定的标准作业程序操作，所有这些安全装置都将确保人员不会有安全上的顾虑。
氮气置换装置
工作原理：由于氮的化学性质不活泼，不容易与其它物质发生化学反应，燃气管道氮气置换，以及氮气具有比轻的特性，利用氮气瓶的压力进行置换。
①操作准备。首先，管道氮气置换，将事故槽车、新调槽车进行接地，以消除静电。其次，连接氮气置换装置。具体是：将氮气瓶出口通过直径为25mm的氮气管线与事故槽车气相管连接，将空载槽车的液相管与事故槽车的液相管通过直径为50mm的管线连接。②开始操作。开启氮气瓶等有关阀门进行置换。由于在氮气瓶出口处设有压力表、单向阀和闸门，所以，在逐一更换氮气瓶时较为方便。氮气置换装置，用于汽车改装检测设备，氮气置换设备用于将空气抽出进行氮气置换，抽真空对为-0.086mpa，抽完真空后置换氮气进去，氮气的压力为0.2mpa，氮气置换装置包含真空表，氮气压力表，高压管，底座四个移动轮等。
碰口施工
在碰口点1 处，采用机械切割方式对PE 管切割1 个小口，
小口处未发生燃烧或喷涌现象即可进行切割断管，后按
施工方案进行碰口施工，管道置换氮气，检查焊接质量直至合格。同理进行碰
口点2、3 处的碰口施工。施工完成后，开始进行氮气置换空气
作业。
氮气置换空气
首先关闭新建管道上X1、X1-1、X2 、X2-1、X3 阀门，然
后分三部分依次进行置换。
置换在运干管 ：关闭ZF1、ZF2 阀门，依次开启放散点4 的
火炬放散阀、调压器进口阀门、GF1-1 阀门，开始注氮，直至检
测合格后关闭前述开启的阀门。
置换新建管道 ：在X1-1( 放散点5)、X2-1( 放散点6) 放散
阀处连接放散火炬，依次开启放散点5 的火炬放散阀、X1-1、
X3、GF1-1 后开始注氮，直至检测合格后关闭前述开启的阀
门 ；打开放散点6 的火炬放散阀、X2-1、X3、GF1-1，直至检测
合格后关闭前述开启的阀门。
(3) 置换在运支管 ：对支管2 进行置换，依次开启放散点3
的火炬放散阀、调压器进口阀门、ZF2、GF1-1 后开始注氮，直
至检测合格后关闭前述开启的阀门 ；同理对支管1 进行置换。
完成后，方可进行置换氮气作业。
天ran气置换氮气
同 5.4，本步骤分三部分依次进行置换。
置换在运干管 ：依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器
进口阀门，缓慢开启GF1 阀门并控制压力和流速，直至检测合
格后关闭调压器进口阀门，按程序拆除放散火炬并恢复放散口
原貌，完全开启GF1 阀门。
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