1）氮气置换液化气期间，控制高压氮气阀
组开度，严格控制各设备塔压，防止设备超压。
2）氮气置换各设备内部液化气时，应逐个
置换，管道氮气置换方案，确保在置换期间液化气管线能够大流量贯
通氮气，保证置换效果。
3）在置换期间，应派专人紧盯现场液面计，
防止氮气过量至缓冲罐 D-501，造成 D-501 压力
偏高，影响后续设备置换进度。
4）撤压时，应缓慢进行，控制撤压阀门开
度，防止氮气置换液化气后残留的液化气大量气
化，造成设备超压。
5）系统撤压完毕后，可投用各塔、罐底部
伴热，提高液化气挥发速度，减少设备内部液化
气残余量。
6）置换完毕向低瓦系统内撤压时，要缓慢
进行，防止冲击低瓦系统。
环保分析
与水顶液化气法相比，氮气置换液化气方法
具有明显的环保优势，
氮气置换液化气的方法不但节约了 500 t 的
新鲜水，管道氮气置换，同时避免了 500 t 废碱性水的产生，以
及废碱性水带来的环保影响。
结 语
1）高压氮气置换液化气的工艺方法应用成
功，效果非常理想。不仅了碱性水的产
生以及排放问题，而且解决了因碱性水进入污水
处理场导致外排水不合格的情况，取得了较好的
环保效益。
2）高浓度的外排废碱性水处理费用约为
1 200 元 /t，通过氮气置换液化气的工艺方法，每
次检修可节省费用 60 万元，取得了较好的经济
效益。
实验室气路安装5
气体管件在安装时，施工原则是应尽可能地以连续式且无接口的方式进行，这样可以减少使用接头的数量，降低潜在的气体泄漏风险。管件与管件间的连接***好以轨道式焊接法（Orbital Welding）来接合，对于不锈钢的焊接要采用弧焊，并向施焊管内通入同等纯度的气，燃气管道氮气置换氧含量，这样可以确保连接的品质，并防止管件内壁因不当的焊接而沉积碳，从而造成气体管件的污染。管件与各种配件之间的连接必须以金属面对金属面密封（Metal to metal face seal）的方式进行。一般晶圆厂比较常用的气体管路连接的接头方式有VCR 和Swagelok两种，具体选用形式应根据生产工艺对高纯度气体的用气要求和气体本身特性进行选择。一般情况下，VCR式的接头主要用在制程气体以及危险气体的传输上，燃气管道氮气置换，管路连接后接头里面的垫圈（Gasket）将会适度变形以确保管路每秒低于10 -9cc的氦气泄漏率（Leakage Rate）。不过在接合时要避免因拴得太紧而导致不锈钢垫圈过度变形造成接合不良或气体外泄。Swagelok 接头通常用在惰性气体、氮气以及CDA等气体的传输上，因为这些气体可以容许一定的外泄率，所以不常用成本较高且须焊接的VCR式接头。总的来说，管件的安装原则是应尽可能减少管件的长度、接头和阀件的数量，因为大多数的危险气体的泄漏都发生在施工不当的接头和阀件接合处。
下面以某城镇新建管道与在运中压管网碰口并网置换作
业为例予以说明。此次作业需将500m 新建de160 管道与在运
de160 干管、2 条de110 支管碰口并网，增加支管供气气源形成
环网供气。示意图如下 ：
其作业程序为 ：在运管网 ：停气放散→氮气置换 ；
新建管道与在运管网: 碰口连接→氮气置换空气 ；并网后的在
运管网和新建管道: 置换氮气→恢复供气。
5.1 停气放散
待准备工作就绪，按照置换方案关闭干管来气阀门GF1、
GF2、GF3 及全部调压器进、出口阀门( 并经确认) 暂停供气 ；
后在GF1-1 阀门( 放散点1) 处连接放散火炬并开启GF1-1 和
火炬放散阀进行燃放作业，待放散至表压为零且火焰
自行熄灭后，关闭火炬放散阀和GF1-1 完成放散，拆除放散火
炬，开始进行氮气置换作业。
5.2 氮气置换天ran气
在GF1-1 阀门( 注氮点) 处连接注氮管线，同时在干管
和支管末端( 放散点2、3、4) 调压器进口阀门后放散口处连
接放散火炬。先置换干管 ：关闭ZF1、ZF2 阀门，从放散口向注
氮口方向依次开启放散点4 的火炬放散阀、调压器进口阀门、
GF1-1 阀门，按前述置换要求参数进行注氮。直至检测合格后
关闭调压器进口阀门、火炬放散阀、GF1-1；同理分别对支管2、
1 依次置换合格。完成氮气置换后，方可进行新建管道
与在运管网碰口施工。
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