催化燃烧净化方法与直接燃烧净化方法相同，属于热破坏法。 其机理是氧化和热裂化，废气中有机成分的热分解以及分解成无毒的二氧化碳和水。但是，通常认为催化处理是处理高浓度有机废气的方法。 原因是催化燃烧的温度远低于焚烧的温度，，能耗低，压降小，所需设备少，成本低，并且不产生氮氧化物。 催化燃烧净化设备可广泛用于各行业生产的高浓度有机废气的净化处理。可以处理的有机物质的类型包括苯，酮，酯，醇，醚和烷烃。 如碱催化燃烧。

催化燃烧是利用金属催化剂降低废气中有机物的活化能，使有机物在较低的温度下发生无火焰燃烧。其原理是废气经过催化剂时，先被吸附至催化剂表面，然后在一定的温度下发生催化燃烧，从而达到净化的目的。目前有机废气处理中常用的催化一般为蜂窝状钯金属催化剂和铂金属催化剂，催化燃烧方式有电加热和燃气加热，燃烧类型有直接催化燃烧(CO)和蓄热式催化燃烧(RCO)。催化燃烧一般适用于小风量、高浓度、高温的气态有机物，且废气中不能含有硫、铅、、及卤素等可使催化剂的因子。

催化燃烧设备使用的越来越广泛，它具有起燃温度低，节省能源，废气催化燃烧和直接燃烧相比，其燃烧易达并且稳定，达到起燃温度后并不需要外界传热，能够完成氧化还原反应。适用范围广，噪音小，且燃烧缓和，运转费用低。催化燃烧几乎可以处理所有的烃类有机废气及恶臭气体。对于有机化工、涂料、绝缘材料等行业排放的低浓度、多成分、又没有回收价值的废气，处理，无二次污染，用催化燃烧法处理有机废气的净化率一般都在95%以上，产物为无害的CO2和H20。

催化燃烧设备采用的催化燃烧技术具有燃点低，能耗低的特点，可增加低浓度废气的处理效率，在催化反应、化工领域、自动检测和环境工程控制等领域均具有重要应用。但由于催化剂容易，寿命等因素使其在废气处理中的应用具有局限性。因此新型催化燃烧催化剂，研制具有大比表面积、低起燃点、空速及抗毒能力强的非催化剂，使其能够在低温条件下同时降解多种不同浓度废物，将成为今后研究工作的。同时催化燃烧装置应向整体型、节能型发展，以降低造价和使用费。