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真空泵维修技术的主要特点和优势


PVD镀膜(离子镀膜)技术的主要特点和优势—和真空蒸发镀膜真空溅射镀膜相比较,PVD离子镀膜具有如下优点:

A.膜层与工件表面的结合力强,更加持久和耐磨

B.离子的绕射性能好,能够镀形状复杂的工件0v+R0S4

C.膜层沉积速率快,生产

D.可镀膜层种类广泛

E.膜层性能稳定、安全性高(获得FDA认证,可植入人体).



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真空泵维修方法制备有机功能薄膜的技术

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1012bit/cm2称为超高密度信息存储,主要是数字0和1的存储,安是纳米电子学的基础。每个信息存储点的尺寸小于10nm,它含有的原子数有限。作为功能点与传统的元件相比,它的特征是体积更小(<109个原子)、材料更纯(杂质缺陷<10-8)、信号功率更低(<10-12焦耳)、信号的写入读出的响应速度快(<纳秒)。因此,超高密度信息存储的研究要求发展新理论、新材料和新的组装加工技术。


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真空泵维修原理和机械泵的参数

机械泵的分类:机械泵有很多种,常用的有滑阀式(此主要应用于大型设备)、活塞往复式、定片式和旋片式(此目前应用广泛,本文主要介绍)四种类型。

机械泵是从大气开始工作的,它的主要参数有极限真空,抽气速率,此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空,双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕,甚至更高。

抽气速率,是指旋片泵按额定转数运转时,单位时间内所能排出气体的体积,可以用下公式计算:Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积,L表示空腔长度,系数表示转子每旋转一周有两次排气过程,Vs表示当转子处于水平位置的时候,吸气结束,此时空腔内的体积,转速为n。


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