一六仪器 测厚仪 多道脉冲分析采集，***EFP算法  X射线荧光镀层测厚仪

应用于电子元器件，LED和照明，家用电器，通讯，汽车电子领域.EFP算法结合***定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题

XTU-A、XTU-50A：五金产品、紧固件、汽车配件、卫浴等，测量面积大于?0.2mm的产品

?XTU-BL：主要针对线路板等大平面，但是需要测试?0.1mm以下，且求购仪器预算较低的客户。

?XTU-50B、XTU-4C：可测试小至?0.05mm测量面积，且搭载的精密移动平台和变焦镜头（XTU全系列都含有）能满足各种需求。

一六仪器 测厚仪 多道脉冲分析采集，***EFP算法  X射线荧光镀层测厚仪

应用于电子元器件，荧光测厚仪，LED和照明，家用电器，通讯，合肥测厚仪，汽车电子领域.EFP算法结合***定位决了各种大小异形多层多元素的涂镀层厚度和成分分析的业界难题

薄膜是指在基板的垂直方向上所堆积的1～104的原子层或分子层。在此方向上，薄膜具有微观结构。

     理想的薄膜厚度是指基片表面和薄膜表面之间的距离。由于薄膜仅在厚度方向是微观的，其他的两维方向具有宏观大小。所以，表示薄膜的形状，一定要用宏观方法，即采用长、宽、厚的方法。因此，膜厚既是一个宏观概念，又是微观上的实体线度。

      由于实际上存在的表面是不平整和连续的，而且薄膜内部还可能存在着、杂质、晶格缺陷和表面吸附分子等，所以，膜厚测试仪，要严格地定义和测量薄膜的厚度实际上是比较困难的。膜厚的定义应根据测量的方法和目的来决定。  

经典模型认为物质的表面并不是一个抽象的几何概念，而是由刚性球的原子（分子）紧密排列而成，是实际存在的一个物理概念。

形状膜厚：dT是接近于直观形式的膜厚，通常以um为单位。dT只与表面原子（分子）有关，并且包含着薄膜内部结构的影响；

质量膜厚：dM反映了薄膜中包含物质的多少，通常以μg/cm2为单位，它消除了薄膜内部结构的影响（如缺陷、、变形等）；

物性膜厚：dP在实际使用上较有用，而且比较容易测量，它与薄膜内部结构和外部结构无直接关系，主要取决于薄膜的性质（如电阻率、透射率等）。

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1X射线激发系统垂直上照式X射线光学系统空冷式微聚焦型X射线管，Be窗标准靶材:Rh靶;任选靶材:W、Mo、Ag等功率:50W(4-50kV，0-1.0mA)-标准75W(4-50kV，0-1.5mA)-任选X射线管功率可编程控制装备有安全防射线光闸

2滤光片程控交换系统根据靶材，标准装备有相应的一次X射线滤光片系统二次X射线滤光片:3个位置程控交换，Co、Ni、Fe、V等多种材质、多种厚度的二次滤光片任选位置传感器保护装置，防止样品碰创探测器窗口

3准直器程控交换系统多可同时装配6种规格的准直器，程序交换控制多种规格尺寸准直器任选:-圆形，如4、6、8、12、20mil等-矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等

4测量斑点尺寸在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸小至为:0.078x0.055mm(使用0.025x0.05mm准直器)在12.7mm聚焦距离时，测量斑点尺寸大至为:0.38x0.42mm(使用0.3mm准直器)

5X射线探测系统封气正比计数器装备有峰漂移自动校正功能的高速信号处理电路

6样品室CMI900CMI950-样品室结构开槽式样品室开闭式样品室-样品台尺寸610mmx610mm300mmx300mm-XY轴程控移动范围标准:152.4x177.8mm任选:50.8mmx152.4mm50.4mmx177.8mm101.6x177.8mm177.8x177.8mm610mmx610mm300mmx300mm-Z轴程控移动高度43.18mmXYZ程控时，152.4mmXY轴手动时，269.2mm-XYZ三轴控制方式多种控制方式任选:XYZ三轴程序控制、XY轴手动控制和Z轴程序控制、XYZ三轴手动控制

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