优先选择结构简单的真空泵。因为结构简单的真空泵与结构复杂的真空泵相比，无油隔膜真空泵定制，前者具有可靠性高、维修方便、寿命周期内总成本低等优点。

（1） 有计量要求时，选用计量真空泵；

（2） 小流量高扬程时，选用旋涡真空泵、往复泵；

（3） 小流量高扬程，且要求流量（压力）无脉动时，选用旋涡泵。

（4） 大流量低扬程时，选用轴流真空泵、混流真空泵；

（5） 介质含气量75%，流量较小且粘度小于37.4mm2/s时，选用旋涡真空泵；

（6） 介质粘度较大（大于650~1000mm2/s）时，选用转子真空泵、往复真空泵（齿轮真空泵、螺杆真空泵）；

（7） 对启动频繁或灌真空泵不便的场合，选用有自吸性能的真空泵，如自吸离心真空泵、自吸旋涡真空泵、隔膜真空泵；

（8） 有特别需要时，选用其他真空泵。无油隔膜真空泵

    我们其实也就是要注意就干式机械真空泵其实也就是会应用在了低压化学气相沉积当中的多晶硅制备工艺；再者，就干式机械真空泵其实也就是会应用了半导体刻蚀工艺。处于这些生产工艺当中，无油隔膜真空泵，这时候，其实也就是会用到或者是生成腐蚀性气体与相关的研磨微粒。

    再者，就干式机械真空泵的应用来讲的话，除了半导体工艺之外的某些产生微粒的工艺，不希望微粒混入到泵油当中，且希望微粒排出泵之外会用到此设备；就其处于化学工业、医学工业或者是食品工业当中的蒸馏、干燥、脱泡以及其包装等，要注意去防止有机的溶剂所造成污染，适合用干式真空泵。无油隔膜真空泵

    水环真空泵设备在进行停车的时候，要注意（如进气管有阀门）关闭进气管上的阀门，之后也就应该要关闭供水管，无油隔膜真空泵保养，且要注意疾速关停真空泵；在进行停车之后应该要注意去把泵腔内的水放掉，以免再次启动时，会形成叶片与泵轴断裂。

水环真空泵设备的启动：

  长期停车的水环真空泵设备在进行开动以前，必需用手转动数圈，无油隔膜真空泵订购，以证明泵内没有卡住或其它损坏现象。首先应该要注意去翻开排气管阀门，接下来也就应该要去启动电动机（应留意电机的正反转）；紧接着，也就应该要逐步增加供水量，至供水量契合规则请求为止，（应留意不要干运转真空泵）。无油隔膜真空泵

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