洁净室术语解析

气溶胶。悬浮在空气中的、固态的或液态的、活性的或非活性的物质，洁净室施工，其粒径在10nm~ 100μm的范围。

泄漏。空气过滤器系统因完整性不佳或有缺陷所引起的污染物透过，透过的污染物超过下风向浓度预计值。

检漏。找到过滤器和机组部件泄漏的方法，即使用气溶胶光度计或光学粒子计数器以相互重叠的扫描区域扫描通过测试区。

无尘洁净室技术应用

无尘洁净室内一定洁净度下气流速度的确定，随洁净室用途等具体情况而异，它不仅受室内发尘量及过滤器效率还受其他因素影响，就工业洁净室而言，洁净室净化工程，影响洁净度及选择气流速度的因素主要是：

(1)室内污染源：建筑物组件、人员数量及操作活动、工艺设备、工艺材料及工艺加工本身等都是尘粒释放源，根据具体情况而异，变化很大;

(2)室内气流流型及分布：单向流要求均匀、平等的流线，但会受到工艺设备布置和位置变动及人员活动情况等的干扰形成局部涡流;而非单向流要求充混合，避免死角及温度分层。

工业洁净室电气设备

近年来，以电子设备为代表的高技术产业飞速地向前发展着，洁净室设计，在这些***的技术领域中，日新月异地进行技术革新，并把产品的微细化、高质量化、超精密化作为目标，而且为了谋求生产的高质量而建造高质量的洁净室。

用于超大规模集成电路（VLS1）、钟表、精密机械、光学仪器及电子仪器等制造、加工或装配、食品生产的各类洁净室，根据生产用途不同，合肥洁净室，而使用各种各样的设备。超大规模集成电路制造工厂的生产设备，因为有下述各种情况，必须精心设计、精心施工。

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