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高纯水的为:GB1146.1-89至GB1146.11-89[168],目前我国高纯水的标准将电子级水分为五个级别:Ⅰ级、Ⅱ级、Ⅲ级、Ⅳ级和Ⅴ级,该标准是参照ASTM电子级标准而制定的。
高纯水的水质标准中所规定的各项指标的主要依据有:1.微电子工艺对水质的要求;2.制水工艺的水平;3.检测技术的现状。
在高纯水的生产过程中,水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除;水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除;水中的细菌,目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除;水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中,水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压,导致低击穿,产生缺陷,还影响材料的少子寿命,因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。
制度
1.化验室结构应能防震、防潮、减少对仪器的震动和腐蚀、增长其实用寿命。2.仪器要放置合理有序,不要经常挪动、实验告一段落后要及时整理。3.化验员在做化验时,必须保持部学严谨的工作态度,严格按操作规程工作。4.在每次化验前做好充分的准备工作,对要使用的仪器作好常规的校正工作,确认无误方可使用。5.用点仪器应使用三头插座,零线与地线分开,不要短接。仪器要单设地线,以保证其正常运做。6.新置仪器使用前认真阅读说明书,武汉桶装水,了解仪器性能后在操作,仪器一定要按操作规程正确操作。7.保持仪器设备干燥,定期除尘,更换干燥剂,仪器要有防尘罩。8.仪器及仪表应按时向国家有关计量部门申请检定或校正,并在有效期内使用,以保证测量值的准确度和精0确性。9.仪器要有专人使用维护,其他人员不经允许不得随意使用。一些常用设备不得外借用于其他与检验无关的的事情。
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