纯净的SF6气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍、SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，六氟化硫处置与储存，SO2F2，六氟化硫制备，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在电力系统GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备。
1）电化学技术（TGS830、TGS832）费加罗传感器或卤素气体传感器。电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。
为什么六氟化硫气体纯度不纯了？
（1）电器设备内的SF6气体在高温电弧发生作用时而产生的某些有毒产物。
例如：SF6气体在电弧中的分解和与氧的反应：会生成氟化亚硫酰、四i氟化硫i酰 、氟化硫i酰等有毒物质。
（2）电器设备内的六氟化硫气体分解物与其内的水分发生化学反应而生成某些有毒产物。 例如：SF6气体分解物与水的继发性反应生成氢i氟酸、二氧化硫、硫酸等
（3）电器设备内的 SF6气体及分解物与电极（Cu－W 合金）及金属材料（AL、Cu）反应而生成某些有毒产物。 例如：SF6气体及分解物与电极或其它材料反应： ALF3（固态粉末）ALF3（固态粉末）CuF2(固态粉末) 等固态粉末
（4）电器设备内的SF6气体及分解物与绝缘材料反应而生成某些有毒产物。如与含有硅成分的环氧酚醛玻璃丝布板（棒、管）等绝缘件；或以石英砂、玻璃作填料的环氧树脂浇注件、模压件以及瓷瓶、硅橡胶、硅脂等起化学作用，生成SiF4、Si（CH3）2F2等产物。
以上这些六氟化硫气体高温分解的产物都会导致六氟化硫气体纯度不纯的问题。我们在选购的时候首先要避免，找正规厂家购买，并附带产品检测报告。
为何会发生六氟化硫气体中i毒？由于技术问题等原因，有些SF6气体产品的纯度不达标，福建六氟化硫，出厂时就会带有一些有害杂质。还有一种情况是在处理SF6气体设备时，人员操作不当，导致SF6电力设备泄 i露，有i毒有害物质泄 i露，导致六氟化硫气体中i毒。当然也有部分企业在定期检查检漏时偷工减料，导致设备故障，从而发生六氟化硫气体中i毒。
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